真空混合漏孔漏氣過程的原理圖

2009-03-25 朱 為 東南大學(xué)電子工程系

      真空容器如存在混合漏孔,即使漏率達到1×10-3PaL/s量級,也無法用常規(guī)的噴吹示漏氣體探測漏孔。

         圖1為混合漏孔漏氣過程的原理圖,示漏氣體從器壁的大氣側(cè)的通道A 進入夾層空間,再經(jīng)歷一個漏入和抽走的一個平衡過程,以及示漏氣體與原夾層空間貯存空氣的混合替代過程,最后經(jīng)通道B進入真空室。由于通道A和B都是一個微小漏孔,即使夾層空間體積很小,這個抽氣平衡過程仍將是十分緩慢,表現(xiàn)在進入真空室內(nèi)示漏氣體的濃度平衡時間即反應(yīng)時間變得十分漫長。只有采用氣罩法,才能保證進行連續(xù)長時間注入示漏氣體,以便在真空室內(nèi)建立起一定濃度的示漏氣體。拆除氣罩,示漏氣體停止注入后,原存貯在漏孔通道中的示漏氣體同樣要經(jīng)很長的時間才能流失,即有很長的保持時間。

          實際混合漏孔的夾層空間和通道可能是空腔、毛細管或焊縫等,通道和夾層空間可能等效成很多個,示漏氣體經(jīng)漏孔通道進入夾層空間,再與該夾層空間內(nèi)原貯存空氣相混合需有一定時間,特別是這些通道和腔體往往會處在高壓強下,要依靠緩慢的氣體擴散而混合,這就造成了示漏氣體流動的延遲過程。多級串接和延遲,將形成超長的總延遲時間。很顯然,在延遲期內(nèi),真空室內(nèi)基本還沒有出現(xiàn)示漏氣體,即使應(yīng)用高靈敏度的檢漏儀,也測不到示漏氣體,這種長延遲特性是普通漏孔所沒有的現(xiàn)象,易被人們忽略,錯誤認為沒有漏孔。

 混合漏孔泄漏過程圖 

圖1  混合漏孔泄漏過程圖

        圖1 所示混合漏孔,通道A和B一般不在一個位置,即使探得A ,也難發(fā)現(xiàn)B。故給補焊造成困難。堵焊了A ,僅造成一個“死空間”,變成了真空系統(tǒng)的一個放氣源。

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