1、真空蝶閥的工作原理和使用范圍

　　真空蝶閥的工作原理是靠固定在轉(zhuǎn)動(dòng)軸上的蝶板旋轉(zhuǎn)90°實(shí)現(xiàn)閥門的開啟和關(guān)閉。和其他相同口徑的真空閥門相比，真空蝶閥具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，通導(dǎo)能力大，閥體結(jié)構(gòu)長(zhǎng)度短，啟閉速度快等優(yōu)點(diǎn)。國內(nèi)生產(chǎn)的真空蝶閥有手動(dòng)、氣動(dòng)、電磁動(dòng)三種形式，手動(dòng)真空蝶閥適用小口徑(公稱尺寸DN32～300)真空抽氣系統(tǒng)、抽氣管道接通或截止氣流之用，氣動(dòng)和電動(dòng)真空蝶閥，最大公稱尺寸可達(dá)DN5000。

　　真空蝶閥在開位、關(guān)位都有自鎖功能，閥板可承受0.3MPa的氣體壓力，不怕振動(dòng)，可在任意位置安裝，閥桿不竄動(dòng)。

　　真空蝶閥使用的介質(zhì)為潔凈空氣及不含顆粒粉塵的非腐蝕性氣體，密封材料選用丁腈橡膠，可用于介質(zhì)溫度在-25～80℃的高真空系統(tǒng)中，選用氟橡膠密封圈，可用于烘烤溫度150℃的超高真空系統(tǒng)中。

2、真空蝶閥的形式和性能參數(shù)

　　手動(dòng)高真空蝶閥有GI型、GI-A型。GI型真空蝶閥的外形如圖1所示。漏氣速率小于1×10-6Pa·L/s。

圖1 GI系列真空蝶閥外形圖

　　GIQ氣動(dòng)真空蝶閥，采用1/4旋轉(zhuǎn)汽缸，轉(zhuǎn)角可調(diào)，設(shè)有開位和關(guān)位電信號(hào)裝置，可作為自動(dòng)控制信號(hào)源實(shí)現(xiàn)蝶閥啟閉的自動(dòng)控制。外形見圖2。

　　GIQ系列氣動(dòng)真空蝶閥的漏率小于1×10-5Pa·L/s。密封材料為丁腈真空橡膠，氣源壓力為0.4～0.6MPa，適用于介質(zhì)溫度-25～80℃，壓力7×10-4～105Pa的高真空抽氣系統(tǒng)及抽氣管道中。

圖2 GJQ型氣動(dòng)真空蝶閥外形圖

　　手、電兩用型GID電動(dòng)真空蝶閥，采用1/4旋轉(zhuǎn)的電動(dòng)裝置，工作平穩(wěn)，噪聲小(與氣動(dòng)閥相比)，可在任意方向安裝，閥門開位和關(guān)位均有電信號(hào)裝置、用于顯示閥板開閉狀態(tài)和自動(dòng)控制的信號(hào)源。GID系列電動(dòng)真空蝶閥外形見圖3。

圖3 GID系列電動(dòng)真空蝶閥外形圖

　　GID系列電動(dòng)真空閥門的閥板密封材料為丁腈真空橡膠，使用介質(zhì)和環(huán)境溫度為-25～80℃，漏氣速率小于1×10-6Pa·L/s，適用于10-4Pa高真空設(shè)備及抽氣管道中。