真空閥門(mén)的定義和作用
真空閥門(mén)是在真空系統(tǒng)中用來(lái)隔離(切斷)氣流、調(diào)節(jié)氣流流量、分配氣流的真空元件。種類(lèi)繁多的真空裝置(亦稱(chēng)真空工程設(shè)備)都離不開(kāi)真空系統(tǒng)。真空閥門(mén)不論在簡(jiǎn)單或復(fù)雜的真空系統(tǒng)中都占有重要的地位。
通常在真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí),要根據(jù)真空裝置的要求和真空系統(tǒng)的特點(diǎn)來(lái)選擇不同類(lèi)型的真空閥門(mén)。例如,真空放氣閥,是用來(lái)給真空系統(tǒng)放入大氣用的。真空裝置完成真空作業(yè)后,若要更換工件或取出樣品,必須將大氣放入真空室,使真空室大門(mén)兩側(cè)沒(méi)有壓差,才能打開(kāi)大門(mén)進(jìn)行工件更換。而針閥是向真空系統(tǒng)中充氣,并能調(diào)節(jié)氣體流量的真空閥門(mén)。
真空閥門(mén)常用于真空泵抽速測(cè)量、真空鍍膜、離子束刻蝕、受控?zé)岷朔磻?yīng)裝置等真空系統(tǒng)上,提供精確調(diào)節(jié)的氣體流量,用以獲得穩(wěn)定的工藝要求的真空度;高真空擋板閥、高真空插板閥,常用于主抽氣泵的進(jìn)氣口上,用來(lái)隔離真空泵,使之不暴露于大氣之中。高真空蝶閥可裝于真空室,真空管道與真空泵之間,用以接通和隔離(截止)氣流。閥門(mén)設(shè)計(jì)不應(yīng)當(dāng)漏氣、發(fā)生機(jī)械、電氣故障等。
需要糾正一下國(guó)內(nèi)電站閥門(mén)存在的錯(cuò)誤叫法,在電站閥門(mén)中,通常將填料部分帶水封裝置的閥門(mén)前面冠以“真空”,如真空閘閥、真空截止閥等。而事實(shí)上,這些閥門(mén)的介質(zhì)壓力都很高,有的閥門(mén)壓力高達(dá)10MPa,這是一種錯(cuò)誤的叫法,應(yīng)當(dāng)予以糾正。