真空閥門的特性
主要是指真空閥門外殼對大氣的真空密封性,衡量真空密封性的性能主要有兩個技術(shù)指標(biāo),即真空閥門的流導(dǎo)和真空閥門的閥座漏氣率(簡稱漏率)。
1、真空閥門的流導(dǎo)在閥門打開狀態(tài)下的氣體流動的流導(dǎo)。需要指出的是,在樣本中,真空閥門的流導(dǎo)通常以“當(dāng)量管長度”列出,這里設(shè)管的公稱尺寸與閥門的公稱尺寸相同。
2、真空閥門的閥座漏氣率在關(guān)閉狀態(tài)下由閥座漏入的氣體流率。它取決于氣體種類、壓力、溫度和閥門進(jìn)、出口的壓差。