20世紀(jì)80年代以來，隨著質(zhì)譜分析技術(shù)在科學(xué)及工業(yè)領(lǐng)域中與日俱增的應(yīng)用，許多方面都提出了定量數(shù)據(jù)的要求。隨之而來的是國(guó)際上對(duì)分壓力質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)技術(shù)研究的高度重視。從1985年召開的首屆國(guó)際分壓力質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)專題討論會(huì)來看，美國(guó)、加拿大、英國(guó)、奧地利、德國(guó)、意大利和日本等在進(jìn)行這方面的研究，尤其是美國(guó)真空學(xué)會(huì)還在1993年發(fā)布了新的質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)推薦方法。從20世紀(jì)90年代，我國(guó)清華大學(xué)和蘭州物理研究所也相繼開展了分壓力質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)技術(shù)研究。

　　分壓力質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)技術(shù)是目前真空計(jì)量學(xué)沒有完全解決的一個(gè)難題，仍處于發(fā)展之中。一般來說，質(zhì)譜計(jì)測(cè)量結(jié)果的精度依賴于兩個(gè)因素：第一是校準(zhǔn)過程中使用的參考標(biāo)準(zhǔn)的精度和校準(zhǔn)系統(tǒng)的適用性；第二是質(zhì)譜計(jì)本身的性能。由此看來，分壓力質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)技術(shù)研究應(yīng)包括校準(zhǔn)系統(tǒng)的研制、校準(zhǔn)技術(shù)研究和質(zhì)譜計(jì)的計(jì)量學(xué)特性研究。

1、分壓力質(zhì)譜計(jì)的調(diào)整

　　分壓力質(zhì)譜計(jì)的離子源要浸入被測(cè)氣體中，因此通常要對(duì)靈敏度、質(zhì)量范圍和分辨本領(lǐng)進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)。

　　質(zhì)譜計(jì)的結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，需要作大量調(diào)整工作，一般允許操作者進(jìn)行調(diào)整的參數(shù)范圍比較寬。在許多日常應(yīng)用或半定量分析中，采用生產(chǎn)廠家調(diào)整的參數(shù)就足夠了，但在一些嚴(yán)格的應(yīng)用場(chǎng)合，必須進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)調(diào)整。在高精度分析中，操作者要調(diào)整掃描速度。靜電計(jì)阻尼、質(zhì)量刻度、分辨本領(lǐng)、離子源電壓和發(fā)射電流等參數(shù)。經(jīng)驗(yàn)豐富的操作者通過調(diào)整優(yōu)化質(zhì)譜計(jì)的性能，但調(diào)整參數(shù)會(huì)影響質(zhì)譜計(jì)的定量輸出，因此，參數(shù)的調(diào)整必須在下一次校準(zhǔn)前，質(zhì)譜計(jì)有足夠長(zhǎng)的時(shí)間保持熱穩(wěn)定和電子線路穩(wěn)定。在良好的工作狀態(tài)下，質(zhì)譜計(jì)的輸出信號(hào)與掃描模式無關(guān)，即在所有顯示模式下，輸出信號(hào)的大小不變。在實(shí)際使用過程中，只要質(zhì)譜計(jì)的工作條件與校準(zhǔn)時(shí)一致，即可保證數(shù)據(jù)的一致性和重復(fù)性。

　　許多質(zhì)譜計(jì)的電子線路單元由計(jì)算機(jī)控制，并且具有多種掃描模式和數(shù)據(jù)顯示方式。一些質(zhì)譜計(jì)還應(yīng)用了許多修正因子，有些甚至利用矩陣技術(shù)進(jìn)行質(zhì)譜分析。操作者應(yīng)該注意，如果不及時(shí)更新有關(guān)數(shù)據(jù)，質(zhì)譜計(jì)可能會(huì)給出錯(cuò)誤結(jié)果，例如質(zhì)譜庫中的靈敏度和圖樣系數(shù)應(yīng)通過最新的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)加以更新。

2、校準(zhǔn)前檢查

　　質(zhì)譜計(jì)的傳感器必須清潔且狀態(tài)完好。雖然燈絲變色和變形是正常的，但必須檢查離子源是否有嚴(yán)重地黑色物質(zhì)積累。輕微的污染可通過真空烘烤清除，如果傳感器嚴(yán)重污染，則不能進(jìn)行校準(zhǔn)，必須首先拆開離子源進(jìn)行清洗。當(dāng)通常的烘烤不能清除污染物時(shí)，用輝光放電清洗方法可有效清除碳?xì)浠�合物和水蒸氣�?

　　質(zhì)譜計(jì)要正確安裝和接地，以避免錯(cuò)誤連接、電子干擾和機(jī)械振動(dòng)引起的噪聲。將真空系統(tǒng)和電子線路共地連接，往往會(huì)降低地線松動(dòng)由電源引起的噪聲。

　　檢查峰形是否良好，如果峰的頂部出現(xiàn)不規(guī)則畸變，應(yīng)對(duì)質(zhì)譜計(jì)進(jìn)行調(diào)整。離子能量和聚焦電壓對(duì)峰形的影響最大，傳感器的污染通常也是峰形畸變的原因之一。

　　檢查離子流信號(hào)是否穩(wěn)定，在一定掃描速度下，離子流信號(hào)的重復(fù)性應(yīng)在1%~5%以內(nèi)。如果連續(xù)監(jiān)測(cè)某個(gè)單峰，其峰高比掃描時(shí)檢測(cè)到的該峰的峰高大，則掃描速度太快或靜電計(jì)時(shí)間常數(shù)太長(zhǎng)。掃描速度越快，由于靜電計(jì)時(shí)間常數(shù)的影響，峰的幅度越小。用法拉第筒時(shí)，掃描速度應(yīng)比用二次電子倍增器(SEM)時(shí)慢。SEM增益的不穩(wěn)定性有時(shí)在掃描和監(jiān)測(cè)模式下給出不同的峰高。將靈敏度校準(zhǔn)時(shí)和實(shí)際應(yīng)用時(shí)峰高的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行比較非常重要。傳感器的污染和電子線路的缺陷通常是引起法拉第筒或SEM 信號(hào)不穩(wěn)定的原因，有時(shí)在真空下對(duì)傳感器進(jìn)行烘烤可消除污染影響。

　　為了達(dá)到穩(wěn)定的工作狀態(tài)，傳感器必須預(yù)熱(燈絲和電子線路)對(duì)傳感器的穩(wěn)定性的要求取決于所需的測(cè)量精度和傳感器固有的穩(wěn)定性。然而，對(duì)于一個(gè)質(zhì)譜計(jì)， 從打開電源到進(jìn)入正常工作溫度，傳感器至少需要幾個(gè)小時(shí)的預(yù)熱時(shí)間，如果長(zhǎng)期使用，質(zhì)譜計(jì)應(yīng)該連續(xù)工作。此外，傳感器從350℃或400℃的烘烤溫度降至正常工作溫度也需要6個(gè)小時(shí)。

　　質(zhì)譜計(jì)不可能在整個(gè)參數(shù)范圍內(nèi)都處于良好的工作狀態(tài)，因此，要進(jìn)行必要的調(diào)節(jié)，對(duì)質(zhì)譜計(jì)的任何調(diào)節(jié)要按生產(chǎn)廠家的推薦程序進(jìn)行。

3、校準(zhǔn)裝置

　　校準(zhǔn)分壓力質(zhì)譜計(jì)采用下列四種校準(zhǔn)方法：

　　①直接比對(duì)法：質(zhì)譜計(jì)讀數(shù)與參考標(biāo)準(zhǔn)規(guī)讀數(shù)直接比對(duì)。

　�、� 壓力衰減法：通過限流孔進(jìn)行壓力衰減后，質(zhì)譜計(jì)讀數(shù)與參考標(biāo)準(zhǔn)規(guī)讀數(shù)間接比對(duì)。

　�、坌】琢鲗�(dǎo)法：質(zhì)譜計(jì)輸出與小孔流導(dǎo)法校準(zhǔn)裝置產(chǎn)生的校準(zhǔn)壓力比對(duì)。

　�、茉�位置校準(zhǔn)法：質(zhì)譜計(jì)對(duì)已知?dú)怏w流量的響應(yīng)。

　　前三種校準(zhǔn)方法可以設(shè)計(jì)相應(yīng)的校準(zhǔn)裝置來完成。第四種方法要求校準(zhǔn)時(shí)的抽速與使用時(shí)的抽速相同，一般指質(zhì)譜計(jì)的原位置校準(zhǔn)。

　　校準(zhǔn)裝置必須在校準(zhǔn)室中產(chǎn)生已知的氣體壓力，為此目的，校準(zhǔn)室的幾何結(jié)構(gòu)、 氣體注入口和抽氣口必須按對(duì)稱結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，以便在測(cè)量區(qū)域內(nèi)壓力相等，由出氣和其它氣源造成的本底氣體應(yīng)僅可能小。為了滿足這些要求，推薦采用下列設(shè)計(jì)原則。

　　校準(zhǔn)室應(yīng)為正圓柱形，長(zhǎng)度與直徑之比在0.5~2.01之間，校準(zhǔn)室也可以采用球形結(jié)構(gòu)。校準(zhǔn)室通過一個(gè)小孔連續(xù)抽氣，小孔位于校準(zhǔn)室一端的中心部位，小孔的直徑不應(yīng)大于校準(zhǔn)室直徑或長(zhǎng)度的10%。對(duì)于氮?dú)�，小孔的流�?dǎo)在室溫下不應(yīng)小于10L/s。如果用單個(gè)小孔不方便，也可以用多個(gè)小孔代替，多個(gè)小孔的面積之和應(yīng)與用單個(gè)小孔時(shí)面積相同， 這些小孔在一半徑內(nèi)軸對(duì)稱分布，而且半徑不大于校準(zhǔn)室直徑的10%。質(zhì)譜計(jì)的傳感器和參考標(biāo)準(zhǔn)規(guī)(如果使用)的接口位于圓柱的壁上，與抽氣小孔之間的距離至少是小孔直徑的5倍。如果有多個(gè)接口，要避免測(cè)量?jī)x器之間的相互干擾，接口之間成直角狀態(tài)比較理想。讓所有接口的軸線都處在與圓柱軸線相垂直的同一平面內(nèi)是最佳的，但如果抽氣小孔很小，則沒有必要這樣排列。

　　制作壓力分布比較均勻的校準(zhǔn)室的一個(gè)經(jīng)濟(jì)途徑是采用標(biāo)準(zhǔn)UHV四通或六通接頭。質(zhì)譜計(jì)和參考標(biāo)準(zhǔn)規(guī)對(duì)稱安裝在接頭的壁上。氣體入口位于頂部，抽氣口位于底部。抽氣口可以是校準(zhǔn)室下部與泵連接處密封墊圈的一部分。

　　校準(zhǔn)室用金屬材料制作，最好用不銹鋼制作�？刹鹦睹芊獠牧弦灿媒饘�，以便降低出氣量。不是所有應(yīng)用都要求烘烤以獲得較低的本底壓力，但烘烤經(jīng)常很有用。如果進(jìn)行烘烤，校準(zhǔn)室和所用儀器要均勻加熱，以免形成局部氣源。烘烤溫度和時(shí)間取決于所需的本底壓力，無論如何，在校準(zhǔn)前，校準(zhǔn)裝置和測(cè)量?jī)x器必須達(dá)到一個(gè)穩(wěn)定的平衡溫度，這一點(diǎn)非常重要。

　　校準(zhǔn)氣體要沿軸線方向直接進(jìn)入校準(zhǔn)室。由于一個(gè)長(zhǎng)管發(fā)射出來的氣體分子會(huì)形成束流，因此，在氣體入口處， 要采取一些散流措施，如在氣體入口的前面放置一擋板可使氣體分子散射而變成隨機(jī)運(yùn)動(dòng)。

　　對(duì)所有校準(zhǔn)氣體，泵的抽速至少應(yīng)是抽氣小孔流導(dǎo)的10倍。小孔的流導(dǎo)與氣體分子量的平方根成反比，因此，當(dāng)用氫和氦等相對(duì)較輕的氣體校準(zhǔn)時(shí)，校準(zhǔn)裝置的抽氣能力應(yīng)相對(duì)較大。除抽氣能力外，抽氣系統(tǒng)還應(yīng)該保證在校準(zhǔn)室中獲得足夠低的本底壓力，本底壓力至少比最小校準(zhǔn)壓力低一個(gè)數(shù)量級(jí)。抽氣系統(tǒng)還不能引入有害的污染物，選用抽速適當(dāng)?shù)臏u輪分子泵作為主泵通�？蓾M足要求，但其它種類的泵也可選用。