直接比對法質(zhì)譜計校準(zhǔn)裝置如圖1所示。校準(zhǔn)裝置通過一個閥控制引入的氣體流量, 這種技術(shù)不需要知道氣體流量, 校準(zhǔn)裝置包括被校質(zhì)譜計和參考標(biāo)準(zhǔn)規(guī), 參考標(biāo)準(zhǔn)規(guī)推薦采用磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)(SRG)和電離規(guī)(IG)。

        磁懸浮轉(zhuǎn)子規(guī)和質(zhì)譜計的測量范圍都受到限制,但它們有足夠的重疊范圍,因此是一種較好的校準(zhǔn)方法。兩種參考標(biāo)準(zhǔn)規(guī)都是全壓力規(guī), 且靈敏度都與氣體種類有關(guān), 因此, 只能用單一氣體進(jìn)行校準(zhǔn)。質(zhì)譜計和參考標(biāo)準(zhǔn)規(guī)應(yīng)正確安裝,以保證壓力相同。

1. 分壓力質(zhì)譜計　2. 校準(zhǔn)室　3. 微調(diào)閥　4. 參考標(biāo)準(zhǔn)規(guī)　5. 氣源　6, 10. 隔斷閥　7, 9. 機(jī)械泵　8, 11. 熱傳導(dǎo)規(guī)　12. 分子泵　13. 放氣閥

圖1　直接比對法校準(zhǔn)裝置原理圖

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