四極質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀

任國(guó)華， 張滌新， 趙瀾

(蘭州空間技術(shù)物理研究所，甘肅 蘭州 730000)

　　摘要：作為殘余氣體分析器和分壓力測(cè)量的主要儀器，四極質(zhì)譜計(jì)的使用越來(lái)越引起重視，使得其校準(zhǔn)技術(shù)研究成為真空計(jì)量領(lǐng)域的一個(gè)熱點(diǎn)問題。

　　本文將從最初美國(guó)真空學(xué)會(huì)推薦的四種四極質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)方法開始，討論研究美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)研究院(NIST)、德國(guó)聯(lián)邦物理研究院(PTB)、意大利國(guó)家計(jì)量研究院(IGMC)、日本國(guó)家工業(yè)科學(xué)技術(shù)研究院(AIST)直到我國(guó)的清華大學(xué)和蘭州空間技術(shù)物理研究所在四極質(zhì)譜計(jì)校準(zhǔn)技術(shù)方面的研究成果，分析這幾個(gè)實(shí)驗(yàn)室方法的優(yōu)缺點(diǎn)，為國(guó)內(nèi)外同行提供參考。