質(zhì)譜測量
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標(biāo)準(zhǔn)壓縮式真空計(jì)比對校準(zhǔn)真空計(jì)的方法
標(biāo)準(zhǔn)壓縮式真空計(jì)比對校準(zhǔn)真空計(jì)用比對法校準(zhǔn)其它標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)量器具,在壓力范圍內(nèi),是一可靠的壓力標(biāo)準(zhǔn),因此,各國普遍將它確定為國家真空計(jì)量的基準(zhǔn)器具。
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動(dòng)態(tài)流導(dǎo)法校準(zhǔn)真空計(jì)的方法
動(dòng)態(tài)流導(dǎo)法有時(shí)也稱為動(dòng)態(tài)流量法和小孔法校準(zhǔn),其校準(zhǔn)下限隨真空獲得和小流量測量水平而延伸。是目前超高真空和極高真空的切實(shí)可行的校準(zhǔn)方法。
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靜態(tài)膨脹校準(zhǔn)低真空計(jì)方法
膨脹法校準(zhǔn)是基于波意耳定律,即在恒定的溫度下,一定質(zhì)量的氣體的壓力與體積之積為一常數(shù)。首先將氣源室中充有需要壓力為p1的校準(zhǔn)氣體,由標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)G2測量。
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真空計(jì)校方法準(zhǔn)概述
“真空計(jì)校準(zhǔn)”就是對相對真空計(jì)進(jìn)行“刻度”。真空計(jì)刻度是在一定條件下對一定種類氣體進(jìn)行的,從而得到校準(zhǔn)系數(shù)或刻度曲線。
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質(zhì)譜計(jì)的分類與主要性能參數(shù)
質(zhì)譜計(jì)根據(jù)質(zhì)量分析系統(tǒng)的工作原理可分為磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)、回旋質(zhì)譜計(jì)、飛行時(shí)間質(zhì)譜計(jì)、射頻質(zhì)譜計(jì)、諧振感應(yīng)質(zhì)譜計(jì)和四極質(zhì)譜計(jì)等。
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反映真空質(zhì)量——分壓力測量
為了測量真空中混合氣體組分和相應(yīng)的分壓力值,必須進(jìn)行分壓力測量,所用的儀器稱為分壓力真空計(jì),分壓力真空計(jì)是專用的小型質(zhì)譜儀器——真空質(zhì)譜計(jì)。
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一種四極桿質(zhì)譜儀真空測量及控制系統(tǒng)的研制
本文介紹了一種用于四極桿質(zhì)譜儀的真空測量與控制系統(tǒng),詳細(xì)闡述了系統(tǒng)結(jié)構(gòu)、系統(tǒng)硬件電路及軟件設(shè)計(jì)等。
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一種四極桿質(zhì)譜儀真空測量及控制系統(tǒng)的軟件設(shè)計(jì)
一種四極桿質(zhì)譜儀真空測量及控制系統(tǒng)的軟件控制主要包括兩個(gè)方面:一個(gè)是高真空規(guī)即潘寧規(guī)的自動(dòng)開啟與關(guān)斷;另一個(gè)是儀器單元之間的級(jí)聯(lián)控制。
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一種四極桿質(zhì)譜儀真空測量及控制系統(tǒng)的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖
四極桿質(zhì)譜儀真空測量及控制系統(tǒng)主要由ARM 微控制器、ADC 采集電路、CAN 通訊接口、HM-TRP 無線收發(fā)模塊、上位機(jī)和真空規(guī)組成。
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四極質(zhì)譜儀在電子誘導(dǎo)脫附實(shí)驗(yàn)中的應(yīng)用
在ESD 實(shí)驗(yàn)中,四極質(zhì)譜儀可以分析電子誘導(dǎo)脫附后殘余氣體成分:H2、H2O、CO、CO2 和少量的碳?xì)浠衔铩?/p>
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基于四極質(zhì)譜儀航天器單點(diǎn)檢漏應(yīng)用研究
為了研究四極質(zhì)譜儀在航天器單點(diǎn)檢漏應(yīng)用中的可行性,本文對航天器單點(diǎn)模型和單點(diǎn)檢漏過程進(jìn)行分析,并通過試驗(yàn)對四極質(zhì)譜儀在航天器單點(diǎn)檢漏進(jìn)行驗(yàn)證。
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四極桿質(zhì)譜儀中啟用二次電子倍增器 (SEM)優(yōu)缺點(diǎn)
使用四極桿質(zhì)譜儀測量真空腔體內(nèi)的殘余氣體成份時(shí),如果要測量極其小的離子電流或需要極其高的測量速度,則使用物理前置放大器,即所謂的二次電子倍增器。
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空間小型磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)的研制
小型磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)經(jīng)歷3 年多實(shí)現(xiàn)了從原理樣機(jī)、驗(yàn)證件產(chǎn)品以及正樣產(chǎn)品的研制工作,并于2012 年年底在實(shí)驗(yàn)衛(wèi)星上實(shí)現(xiàn)了搭載飛行,迄今為止已實(shí)現(xiàn)在空飛行測試近兩年。
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小型磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì)離子源設(shè)計(jì)與驗(yàn)證
本文介紹了用于小型磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜計(jì) 的離子源結(jié)構(gòu)和供配電關(guān)系設(shè)計(jì)。同時(shí)還對離子源內(nèi)電場分布、離子運(yùn)動(dòng)軌跡進(jìn)行了仿真分析,并通過質(zhì)譜計(jì)整機(jī)測試和試驗(yàn)間接驗(yàn)證了離子源設(shè)計(jì)。
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電真空器件烘烤排氣過程中殘余氣體質(zhì)譜分析
本文在真空排氣臺(tái)上安裝四極質(zhì)譜儀,通過烘烤排氣過程中器件內(nèi)出氣過程的質(zhì)譜分析,對陰極及管內(nèi)材料出氣過程及成分研究和評價(jià)。
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四極質(zhì)譜儀真空檢漏方式的優(yōu)缺點(diǎn)及注意事項(xiàng)
使用四極質(zhì)譜儀,可分析真空腔體內(nèi)的殘留氣體,通過實(shí)時(shí)分析氣體成份,也可以實(shí)現(xiàn)真空檢漏。
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