1、基本原理及要求

　　動(dòng)態(tài)流量法是用于高真空和超高真空區(qū)間的一種絕對(duì)的真空校準(zhǔn)真空規(guī)的方法。

　　動(dòng)態(tài)流量法是連續(xù)地把已知流量的氣體注入校準(zhǔn)室中，通過(guò)已知流導(dǎo)的小孔抽氣，在校準(zhǔn)室內(nèi)建立起可精確計(jì)算的動(dòng)態(tài)平衡壓力的校準(zhǔn)方法。

　　如果校準(zhǔn)室中處于等溫狀態(tài)，氣體分子各向同性，均勻分布，采用前級(jí)流量法，則有

Q+Q0-PSg-(P-Pe)C=V△P/△t (1)

　　式中，Q為注入的氣體流量(Pa·L/s);Q0為校準(zhǔn)室內(nèi)表面的放氣速率(L/s);P為校準(zhǔn)室內(nèi)的壓力值(Pa);Sg為被校真空規(guī)的抽氣速率(L/s);Pe為抽氣室中的壓力值(Pa);C為校準(zhǔn)室出口小孔的流導(dǎo)值(L/s)。V為校準(zhǔn)室的體積(L);△P/△t為校準(zhǔn)室壓力隨時(shí)間的變化速率(Pa/s)。

　　為了簡(jiǎn)化式(1)，應(yīng)滿(mǎn)足如下的基本條件: 1)校準(zhǔn)室內(nèi)的表面放氣速率Q0應(yīng)小于最低校準(zhǔn)壓力時(shí)注入氣體流量Q的1/100；2)抽氣室內(nèi)對(duì)小孔的有效抽氣速率Se應(yīng)大于小孔分子流流導(dǎo)C的50倍;3)被校真空規(guī)的總抽氣速率應(yīng)小于校準(zhǔn)室出口流導(dǎo)值的1/100;4)在校準(zhǔn)過(guò)程中，校準(zhǔn)室內(nèi)每個(gè)校準(zhǔn)點(diǎn)的壓力波動(dòng)小于1/100。

　　如果滿(mǎn)足這些條件, 則式(1)簡(jiǎn)化為

　　P=Q/C (2)

　　通過(guò)測(cè)量氣體流量Q,再由分子流理論計(jì)算出小孔的流導(dǎo)值C, 在校準(zhǔn)室中就可得到計(jì)算的壓力值P。流量Q由恒壓式氣體微流量計(jì)測(cè)量。通過(guò)測(cè)量參考室壓力Pf, 活塞的運(yùn)動(dòng)速度△L/△t, 由下式計(jì)算流量

(3)

　　式中,Ap 為活塞的橫截面積; TQ為微流量計(jì)內(nèi)的氣體溫度; Tr為參考溫度。

2、標(biāo)準(zhǔn)裝置

　　研制的動(dòng)態(tài)流量法超高真空標(biāo)準(zhǔn)裝置主要由標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)、恒壓式氣體微流量計(jì)和抽氣系統(tǒng)三部分組成, 如圖1所示。

2.1、校準(zhǔn)系統(tǒng)

　　經(jīng)過(guò)調(diào)研, 對(duì)國(guó)內(nèi)外同類(lèi)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了分析和研究的基礎(chǔ)上, 提出了物理模型。運(yùn)用計(jì)算機(jī)采用蒙特卡羅法和視角系數(shù)法進(jìn)行了模擬計(jì)算和分析。設(shè)計(jì)了四球結(jié)構(gòu)的校準(zhǔn)系統(tǒng), 它由入口球室、校準(zhǔn)室、裸規(guī)校準(zhǔn)球室和抽氣室組成。

2.1.1、校準(zhǔn)室

　　校準(zhǔn)室采用了球形結(jié)構(gòu), 直徑為500mm。在校準(zhǔn)室的赤道位置上, 有10個(gè)法蘭孔, 用于被校真空規(guī)的安裝。球形結(jié)構(gòu)是最理想的結(jié)構(gòu)形式, 適合于絕對(duì)真空測(cè)量。具有如下的特點(diǎn):

　　1)因?yàn)闅怏w分在整個(gè)球內(nèi)是均勻分布的, 單位時(shí)間在單位面積上入射分子數(shù)(分子數(shù)/s·cm²)是相同的。

　　2)如果從球形結(jié)構(gòu)上某處的入口孔注入按余弦分布的氣流, 并通過(guò)出口孔進(jìn)行抽氣, 由于球中存在定向流動(dòng)而畸變了各向同性分子流的分布。但是在球形結(jié)構(gòu)中, 這種畸變是容易估算的。如果小孔的面積小于球面面積的1/1000, 球中定向流動(dòng)的影響可以忽略不計(jì)。

　　3)球形結(jié)構(gòu)上小面積的孔與無(wú)限大平面上的孔的性質(zhì)極為近似, 基本符合理想小孔的條件。如果球面對(duì)入射分子按余弦定律散射, 小孔的面積遠(yuǎn)小于球面面積(1/1000)和小孔厚度遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于小孔的直徑, 那么小孔流導(dǎo)值就能精確計(jì)算。

　　校準(zhǔn)室的總體積為0.53 m³, 大于被校規(guī)及連接管道的總體積的60倍。

2.1.2、抽氣室

　　抽氣室采用直徑為500mm,高度為800mm的圓筒容器,為丁字形結(jié)構(gòu)。抽氣室體積為0.785m3,大于校準(zhǔn)室的體積。

2.1.3、入口球室

　　氣體注入的入口球室位于校準(zhǔn)室頂部, 入口孔在校準(zhǔn)室赤道的極點(diǎn)上, 并對(duì)著校準(zhǔn)室內(nèi)壁。當(dāng)氣體流量注入到入口球室時(shí), 到少與球壁相碰一次再進(jìn)入校準(zhǔn)室中, 減小了分子束流效應(yīng)。然后經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)室與抽氣室之間的小孔由低溫泵抽走, 在校準(zhǔn)室中將產(chǎn)生一個(gè)動(dòng)態(tài)平衡壓力。

2.1.4、裸規(guī)校準(zhǔn)球室

　　裸規(guī)校準(zhǔn)球室實(shí)際上是一個(gè)壓力平衡轉(zhuǎn)換器。為了防止入射的氣體分子直接打到規(guī)管的電離區(qū), 設(shè)計(jì)了屏蔽檔板, 至少經(jīng)過(guò)一次碰撞后才能進(jìn)入裸規(guī)校準(zhǔn)球室。

2.1.5、小孔

　　小孔是圓形的, 直徑為3.2939cm。小孔橫截面積為8.521 cm², 不確定度小于0.1%。校準(zhǔn)室采用球形, 球的內(nèi)表面積為7854 cm²。小孔橫截面積與球內(nèi)表面積的比值為1.08×10^-3,接近于 1/1 000, 基本上滿(mǎn)足標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的要求。小孔邊緣厚度為0. 252mm , 小孔邊緣厚度和孔徑之比值為1/131 小于的1/50, 滿(mǎn)足標(biāo)準(zhǔn)要求。小孔安裝在校準(zhǔn)室與抽氣室之間的位置上, 并與校準(zhǔn)室內(nèi)切球面相割, 小孔流導(dǎo)C為99.186L/s (N2)。

2. 2、恒壓式氣體微流量計(jì)

　　恒壓式氣體微流量計(jì)用于產(chǎn)生已知?dú)怏w流量, 通過(guò)入口球室注入到校準(zhǔn)室中, 為動(dòng)態(tài)流量法提供標(biāo)準(zhǔn)流量。恒壓式氣體微流量計(jì)的測(cè)量范圍為2×10^-3～10^{- 8}Pa·m³/s, 不確定度小于2%。

2. 3、抽氣系統(tǒng)

　　抽氣系統(tǒng)由主抽氣系統(tǒng)、前級(jí)抽氣機(jī)組、管道和閥門(mén)組成。主抽氣系統(tǒng)由低溫泵、鈦升華泵、分子泵、濺射離子泵、插板閥等組成。前級(jí)抽氣機(jī)組由羅茨泵、擋油阱、機(jī)械泵等組成。

     主抽泵為500mm口徑的制冷機(jī)低溫泵，對(duì)氮?dú)?N2)的抽速為16m ³/s, 對(duì)小孔的有效抽速為6.6m ³/s, 遠(yuǎn)大于小孔流導(dǎo)值的50倍。使低溫泵的抽速波動(dòng)對(duì)小孔流導(dǎo)的影響減小,保證了壓力的測(cè)量精度。在獲得極限真空的過(guò)程中需要300℃高溫烘烤48h。在主泵上配置了插板閥, 并用一臺(tái)抽速為 1.5 m³/s的分子泵作為烘烤時(shí)的抽氣泵。同時(shí)選用一臺(tái) 15m³/s的LN 2冷凍升華泵和一臺(tái)0. 4m 3/s的濺射離子泵作為獲得極限真空輔助泵。前級(jí)泵是一臺(tái)抽速100 m ³/h 的羅茨泵和一臺(tái)50 m³/h的雙級(jí)旋片泵。