彈性元件真空計的結(jié)構(gòu)與測量原理
2020-05-06 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理
利用彈性元件在壓差作用下產(chǎn)生彈性變形的原理制成的真空測量儀表稱為彈性元件真空表。在結(jié)構(gòu)和外形上與工業(yè)用壓力表類似，一般用于粗真空(102～105Pa)的測量。根據(jù)變形彈性元件分類，這類真空計通常有彈簧管式、膜盒式和膜片式，其結(jié)構(gòu)如圖3所示。
圖3：彈性元件真空表結(jié)構(gòu)示意圖
彈性元件真空表性能穩(wěn)定，其測量范圍一般為102～105Pa，精度有0.5級、1.5級和2.5級數(shù)種。
在工業(yè)生產(chǎn)中有些設(shè)備需要既測量正壓(高于一個大氣壓)，也要測量負壓(低于一個大氣壓，即真空狀態(tài))，因此制成的彈性元件壓力真空表，在同一條表盤刻度上同時刻有正壓力和真空度。
彈性元件真空表的主要特點如下：
1、測量結(jié)果是氣體和蒸氣的全壓力，并與氣體種類、成分及其性質(zhì)無關(guān);
2、測量過程中，儀表的吸氣和放氣很小，同時儀表內(nèi)部沒有高溫部件，不會使油蒸氣分解;
3、測量精度較高;
4、反應(yīng)速度較快;
5、結(jié)構(gòu)牢固，選用適當材料能測量腐蝕性氣體;
6、是絕對真空計，0.5級以上的表可作為標準表。
