比較法真空規(guī)校準(zhǔn)裝置是真空計量的主要工作標(biāo)準(zhǔn)，主標(biāo)準(zhǔn)器溯源到靜態(tài)膨脹式真空標(biāo)準(zhǔn)裝置。為了保證量值傳遞數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確可靠，對裝置的不確定度進(jìn)行了分析和評定，同時對裝置的計量性能穩(wěn)定性和重復(fù)性進(jìn)行了測試和研究。

1、引言

　　比較法真空規(guī)校準(zhǔn)裝置主要用于真空量值的比較校準(zhǔn),是真空計量進(jìn)行量傳的主要校準(zhǔn)裝置。目前，大量的高真空計和低真空計都是通過比較法真空規(guī)校準(zhǔn)裝置進(jìn)行校準(zhǔn)，為了保證校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的質(zhì)量，需要對裝置的不確定度進(jìn)行分析和評定。比較法真空規(guī)校準(zhǔn)裝置的主標(biāo)準(zhǔn)器電容薄膜真空計和磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計溯源到膨脹式一等真空標(biāo)準(zhǔn)裝置，裝置測量不確定度的評定，通過A 類和B 類評定方法進(jìn)行。同時對比較法真空規(guī)校準(zhǔn)裝置的計量性能進(jìn)行深入研究，包括裝置的穩(wěn)定性和重復(fù)性的測量和驗證。

2、裝置工作原理和組成

2.1 、裝置的原理和校準(zhǔn)方法

　　裝置的工作原理是將被校準(zhǔn)的真空計與主標(biāo)準(zhǔn)器連接到裝置的校準(zhǔn)室上，通過微調(diào)閥調(diào)節(jié)校準(zhǔn)室中的壓力點，當(dāng)校準(zhǔn)室中的壓力達(dá)到所需的動態(tài)平衡或靜態(tài)平衡壓力時，被校真空計和主標(biāo)準(zhǔn)器同時測量校準(zhǔn)室中的同一壓力，將測量結(jié)果進(jìn)行直接比較，給出壓力示值的修正因子或校準(zhǔn)曲線。比較法真空規(guī)校準(zhǔn)裝置采用動態(tài)比較和靜態(tài)比較2 種方法。動態(tài)比較法的主標(biāo)準(zhǔn)器用磁懸浮轉(zhuǎn)子真空計，靜態(tài)比較法的主標(biāo)準(zhǔn)器用電容薄膜真空計。主標(biāo)準(zhǔn)器溯源到一等膨脹式真空標(biāo)準(zhǔn)裝置，校準(zhǔn)證書給出的擴(kuò)展不確定度是0.9%（k=2）。

7、結(jié)束語

　　通過對比較法真空規(guī)校準(zhǔn)裝置的測量不確定度分析評定和驗證，對裝置的穩(wěn)定性和重復(fù)性等計量性能進(jìn)行測試和研究。證明比較法真空規(guī)校準(zhǔn)裝置在10^-4～10⁵ Pa 的壓力范圍內(nèi)滿足開展量傳的等級關(guān)系，能夠開展各類真空計的校準(zhǔn)工作。

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