恒壓式氣體微流量計的性能測試
隨著真空科學技術的發(fā)展，對氣體微流量的校準提出了更高的要求，需要研制流量測量范圍更寬、流量下限更低、流量測量更準確的氣體微流量計。
目前，德國聯(lián)邦物理技術研究院(PTB)已經(jīng)研制到第三代流量計，測控系統(tǒng)為全自動方式，恒壓控制測量下限達到10 - 8 Pa·m3 / s，流量校準下限達到10 - 10Pa·m3 /s［1，2］。意大利國家計量研究所(IMGC)也研制了第三代流量計，測量下限達到了10 - 8 Pa·m3 / s［3］。1994 年我們研制了一臺恒壓式氣體微流量計，流量測量范圍為(3.49×10 -3 ～ 1.97×10 - 8)Pa·m3 / s，不確定度小于2.3%[4，5]；通過不斷的改進和完善，研制了測量精度更高的第二代恒壓式氣體微流量計，本文介紹該流量計的性能測試結果。
1、恒壓式氣體微流量計組成
恒壓式氣體微流量計原理如圖1 所示，流量計由兩部分組成：左側為壓力測量系統(tǒng)和供氣系統(tǒng)(其中：1 - 離子泵，2、8 - 電容薄膜規(guī)，3、4、5、6 - 閥門，7- 差壓規(guī)，9 - 調節(jié)閥，10 - 角閥，11 - 渦輪分子泵，12 - 機械泵)，可以測量穩(wěn)壓室及管道壓力，提供N2、He、Ar 等校準氣體，并對流量計各部分抽真空；右側為流量測量系統(tǒng)(其中：13 - 穩(wěn)壓室，14、16、17、19、20、21、22、24、25 - 閥門，15 - 油處理器，18 - 電容薄膜規(guī)，23、26 - 小孔，27 - 變容室，28 - 油室，29 -活塞，30 - 調速裝置)，可以精確測量并提供標準流量，其整體放在一個恒溫箱內以保持溫度恒定。標準流量引入到真空校準系統(tǒng)后，可用于真空規(guī)或真空漏孔的校準。
圖1 恒壓式氣體微流量計原理圖
恒壓式氣體微流量計的工作原理在真空技術網(wǎng)內已有大量文獻專門闡述[6]，這里不再進行討論。
2、實驗研究內容及結果
恒壓式氣體微流量計由自行研制的測控系統(tǒng)控制，可以在數(shù)字PID 和壓力波動兩種恒壓控制模式下提供和測量流量，以下實驗研究中有關流量測量的結果均由該測控系統(tǒng)提供［7］。
2.1、變容室及管道漏放氣率的測量
漏放氣率是影響流量測量下限最主要的因素，必須降低到最低程度。對變容室及管道進行長時間烘烤并抽氣，使達到本底壓力約10 - 4 Pa。關閉閥門(19)，用滿量程133 Pa 電容薄膜規(guī)測量變容室及管道的壓力變化，用式(1)計算變容室及管道的漏放氣率。
Q =ΔP·VS /Δt (1)
式中：Q—漏放氣率，單位：Pa·m3 / s；ΔP—壓力變化，單位：Pa；VS—變容室及管道體積，單位：m3；Δt—測量時間，單位：s。
我們進行了40h 的測量，每隔60 min 測量一次壓力，壓力從0.002 Pa 上升到0.175 Pa，可以計算出漏放氣率為(1.20× 10 - 6 V)Pa / s，V 為變容室體積。由于變容室體積約0.05×10 - 3 m3，所以漏放氣率為6.0×10 - 11Pa·m3 / s，比流量計的流量測量下限10- 8Pa·m3 / s 低三個數(shù)量級，滿足流量下限測量要求。
2.2、變容室體積測量
利用波-馬定律PV = C 測量變容室的體積。充入變容室的壓力，要求是即要保證壓力足夠高使體積測量準確，又要保證壓力變化不能超過差壓規(guī)133Pa的測量范圍。
測量方法是，先測量變容室壓力P1和體積V，讓活塞前進一段距離后停止，再測量變容室壓力P2和體積變化ΔV，則變容室的體積V由式(2)計算。
V = P2ΔV/( P2 - P1) (2)
當測量體積時，變容室充入2791Pa的N2，活塞行走31mm，變容室體積的測量平均值為56.33 mL。
2.3、活塞運動速度的平穩(wěn)性測試
活塞運動速度的平穩(wěn)性關系到流量測量的準確性，如果在活塞運動過程中，速度發(fā)生不規(guī)律大幅度的跳變，恒壓控制就無法實現(xiàn)�；钊\動平穩(wěn)是測量流量的前提�；钊\動速度的設計指標是(0.1 ～對活塞在以下三個速度的運動平穩(wěn)性進行實驗，分別是0.003、0.100、0.667 mm/ s。其中，0.003mm/ s 和0.667mm/ s 為活塞運動的最小和最大速度，0.100 mm/ s 為活塞運動的最佳速度，對這三個速度進行測量，具有一定代表性。測試方法是，用測控軟件設置活塞運動速度，并測量反饋脈沖，由反饋脈沖計算活塞的運動速度。
測量結果表明，活塞運動速度的平穩(wěn)性非常好，速度波動在0.03%以下，可以很好的保證流量測量的精度。
2.4、液壓油傳遞效果測試
油室中的液壓油承擔著傳遞變容室體積變化的任務，直接關系到流量測量的準確性。如果油中有氣泡，會導致傳遞系數(shù)發(fā)生變化，即活塞變化的體積不等于波紋管變化的體積，使流量測量發(fā)生偏差。
用機械泵對油室進行抽氣，油中的氣體會被抽走而在油面形成氣泡，通過觀測一定時間內的氣泡個數(shù)來分析油室中的氣體量。在30 min 的觀測時間內，氣泡個數(shù)為2 個，液壓油所含氣泡的影響低于0.1%。對于液壓油抽氣后，讓活塞前進一定距離，用式
(3)計算油傳遞靈敏度Os。
Os =ΔV/V=ΔP/P=k(3)
式中：ΔV—變容室體積變化，單位：m3；V—變容室體積，單位：m3；ΔP—變容室壓力變化，單位：Pa；P—變容室壓力，單位：Pa。
流量計使用一段時間后，假定液壓油含有一定氣體，用式(3)再次計算油傳遞靈敏度，設兩次靈敏度值分別為k1和k2，則油傳遞修正系數(shù)δ：
