DL-10型真空計(jì)的工作原理與測量范圍

2009-06-08 王遜 北京大學(xué)電子學(xué)系

一、引言

     石英晶振在諧振時(shí),諧振阻抗與氣體壓強(qiáng)有關(guān),上世紀(jì)八十年代就有人研究。國內(nèi)在上世紀(jì)九十年代也有人對這種特性進(jìn)行了研究。 目前這種真空計(jì)已經(jīng)上市,測量范圍是1Pa到大氣壓。這種真空計(jì)測量范圍較寬,精度較高。我們研制的DL-10真空計(jì)也是這種真空計(jì),選用的晶振是Φ2×6型,頻率標(biāo)稱值為32.768KHz, 測量范圍也是1Pa到大氣壓。

二、DL-10型真空計(jì)的工作原理

  晶振在諧振時(shí),同時(shí)自身也存在機(jī)械振動,振動 時(shí)將受氣體的阻力,阻力的大小與氣體壓強(qiáng)有關(guān)。因而晶振的電學(xué)特 性阻抗也與氣體壓強(qiáng)有關(guān)。Φ2×6晶振的阻抗與壓強(qiáng)的關(guān)系如圖1所 示:

  縱坐標(biāo)是諧振阻抗Z與固有阻抗Z0之差△Z,橫坐 標(biāo)是壓強(qiáng)。固有阻抗Z0是壓強(qiáng)小于10-3Pa時(shí)的Z值,這時(shí) 氣體的阻力已經(jīng)可以忽略了。它決定于晶振機(jī)械振蕩時(shí)自身內(nèi)部損耗 的能量,它與壓強(qiáng)無關(guān)。Φ2×6的Z0約20kΩ。由圖可見,在1-100Pa 之間,△Z與P近似成線性關(guān)系,在104-105之間,△Z近似與 成正比 。DL-10真空計(jì)將圖1曲線存入單片機(jī)中,測量△Z值,由數(shù)碼管顯示 壓強(qiáng)值。

三、電路的選擇

  文獻(xiàn)報(bào)道的用于石英真空計(jì)的電路有以下兩種, 一是采用鎖相環(huán)電路(phase locked loop circuit),另一種是 晶振本身為頻率控制元件的自振蕩、自跟蹤電路。第 一種國外真空計(jì)用的電路振蕩器與傳感器用的石英晶振是各自獨(dú)立的 ,兩者之間需要有良好的跟蹤技術(shù),即振蕩器的振蕩頻率要跟蹤傳感 器石英晶振諧振頻率的變化,這樣電路較為復(fù)雜。DL-10選用第二種方案。

阻抗測量如圖2電路所示:



 VAB為晶振兩端電壓
 I 為流過晶振的 電流

  電流I流過與晶振串聯(lián)的電阻R,在電阻兩端的電 壓為VBD ,由于與R并聯(lián)的電容C甚小,工作中其容抗遠(yuǎn)大于電阻R, 故可以認(rèn)為:


  VAB 近似等于AE兩端電壓V0,VBD 近似等于DE兩端電壓V1,由測量的V0, V1值及電阻值,可以計(jì)算出阻抗。單片機(jī)將阻抗轉(zhuǎn)換成 壓強(qiáng),由數(shù)碼管顯示壓強(qiáng)值。

  DL-10還設(shè)置兩個(gè)校準(zhǔn)按鍵,一是零點(diǎn)調(diào)節(jié),即 在壓強(qiáng)為零時(shí)按一下按鍵,這時(shí)單片機(jī)執(zhí)行中斷程序,將 Z0值存在E2prom中。另一個(gè)是大氣調(diào)節(jié),即 在壓強(qiáng)為大氣時(shí),按一下按鍵,這時(shí)單片機(jī)執(zhí)行另一中斷程序,將大 氣時(shí)修正值存入另一E2prom中。

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