小型電容薄膜規(guī)的設(shè)計(jì)

孫雯君，馮焱，馬奔，習(xí)振華，成永軍，趙瀾

(蘭州空間技術(shù)物理研究所，甘肅 蘭州 730000)

　　摘要：由于制作工藝、使用材料等方面的限制，我國(guó)生產(chǎn)的商用電容薄膜規(guī)存在體積大、重量重、測(cè)量準(zhǔn)確度不高等問(wèn)題，無(wú)法滿(mǎn)足一些領(lǐng)域的真空測(cè)量需求，因此研究并提出了一種小型電容薄膜規(guī)。

　　為防止測(cè)量過(guò)程中溫度變化導(dǎo)致的規(guī)管重要部件的熱變形，減小電容薄膜規(guī)的測(cè)量不確定度，設(shè)計(jì)中采用了因科鎳合金整體機(jī)架結(jié)構(gòu)和倒T 型結(jié)構(gòu)的陶瓷固定極板;并在機(jī)架頂部中央設(shè)計(jì)有防熱變形結(jié)構(gòu)。為消除測(cè)量過(guò)程中外界雜散電容和因溫度變化而引起的測(cè)量信號(hào)偏差，設(shè)計(jì)中采用了面積相同的雙電極結(jié)構(gòu)。

　　小型電容薄膜規(guī)整體尺寸小于Φ40mm×24mm，重量小于200g，測(cè)量下限可低至10^-2 Pa，測(cè)量不確定度小于5%，可適應(yīng)較寬的工作溫度范圍，滿(mǎn)足不同領(lǐng)域的真空測(cè)量需求。