氣體微流量測量技術(shù)的發(fā)展
隨著真空校準技術(shù)的發(fā)展，需要測量氣體微流量，提出了氣體微流量計的研制，進而建立氣體微流量標(biāo)準，用于真空漏孔和正壓漏孔的校準，這已成為真空計量研究的重要內(nèi)容。
根據(jù)氣體狀態(tài)方程，一定質(zhì)量的氣體，其狀態(tài)由壓力、體積和溫度三個參量來描述。一般用處于平衡狀態(tài)的理想氣體所占有的體積和其壓力的乘積表示氣體量，同時氣體量需要注明氣體溫度或換算成23℃時的數(shù)值。氣體流量則是單位時間內(nèi)通過某一截面的氣體量，其狀態(tài)由壓力、體積和時間三個參量來描述。氣體流量的測量有三種方法，若氣體壓力保持不變，通過改變氣體體積的測量方法，則為恒壓法；若體積保持不變，通過改變壓力的測量方法，則為定容法；若壓力和體積都在變化，則為變壓變?nèi)莘ā?/p>
由此可知，根據(jù)流量測量的方法，可分為恒壓式流量計、定容式流量計和變壓變?nèi)菔搅髁坑嫛Ｗ儔鹤內(nèi)菔搅髁坑嫷慕Y(jié)構(gòu)復(fù)雜，控制難度大，實際應(yīng)用的較少，一般采用恒壓式流量計和定容式流量計。
雖然國內(nèi)外對氣體微流量測量的研究起步相對較晚，隨著理論研究的深入，實踐經(jīng)驗的積累，對氣體微流量測量的難度和存在的問題有了更具體和更深刻的認識，通過不斷地改進和完善，使氣體微流量測量技術(shù)不斷得到發(fā)展。
1、國外發(fā)展概況
2、國內(nèi)研究的進展
3、小結(jié)
(1) 通常采用恒壓式流量計和定容式流量計作為流量標(biāo)準，用于氣體微流量的測量。
(2) 恒壓式流量計分為滑動密封活塞式流量計、活塞式液壓驅(qū)動波紋管結(jié)構(gòu)流量計和全金屬波紋管密封結(jié)構(gòu)流量計等三種結(jié)構(gòu)。全金屬波紋管密封結(jié)構(gòu)恒壓式流量計可整體烘烤到150℃，以減小變?nèi)菔覂?nèi)表面的放氣率，從而延伸了流量測量下限。
(3) 采用固定流導(dǎo)法，延伸了氣體微流量的測量下限，并減小了測量不確度。
(4) 通過優(yōu)化組合，一臺流量計采用定容法，恒壓法和固定流導(dǎo)法三種工作模式，可拓寬流量的測量范圍。
(5) 隨著流量計的控制技術(shù)發(fā)展，實現(xiàn)了計算機過程控制、數(shù)據(jù)采集和處理等全自動化管理，以減小人為操作的因素，從而保證了各測量參數(shù)的準確性。
(6) 隨著氣體微流量測量方法的研究，對測量不確定度的影響因素有了更深刻認識，不斷改進和完善了流量計的性能。
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