皮拉尼真空規(guī)是電鏡中的一個重要部件。真空系統(tǒng)真空狀態(tài)的檢測及抽真空程序的自動控制都要靠它提供的各檢測點的訊息來實現(xiàn)。它如損壞勢必影響儀器的正常運轉(zhuǎn)。我室飛利浦EM400裝了英國產(chǎn)Edwards公司的PRCT10-P型皮拉尼規(guī)。它是一個金屬的開口管，與玻璃制品結(jié)構(gòu)不同，國內(nèi)沒有生產(chǎn)，亦很難買到，無處修理。其價格亦較貴。我們將它打開后，發(fā)現(xiàn)它很容易修復(fù)，修復(fù)后的皮拉尼規(guī)已使用半年多，性能很好。

       它利用電熱絲的電阻溫度特性和溫度隨壓強變化關(guān)系，將壓強變換為電阻測量。如圖3-9所示。用電橋測出待測電阻。圖中Rx 為電阻式規(guī)管，接入待測真空系統(tǒng)。R為與Rx結(jié)構(gòu)相同的補償管，用來抵消環(huán)境溫度的影響。Ro用于調(diào)節(jié)零點，即調(diào)電橋平衡。

圖3-9 電阻式真空規(guī)