上海伯東客戶某真空設(shè)備商采購 Pfeiffer 渦輪分子泵用于激光分子束外延系統(tǒng)。

　　激光分子束外延(Lazer MBE)是一種晶體生長技術(shù)，將半導(dǎo)體襯底放置在超高真空腔體中，和將需要生長的單晶物質(zhì)按元素的不同分別放在噴射爐中，由分別加熱到相應(yīng)溫度的各元素噴射出的分子流能在襯底上生長出極薄的，可薄至單原子層水平，單晶體和幾種物質(zhì)交替的超晶格結(jié)構(gòu)。

　　分子束外延主要研究的是不同結(jié)構(gòu)或不同材料的晶體和超晶格的生長。該方法生長溫度低，能嚴(yán)格控制外延層的層厚組分和摻雜濃度。

　　分子束外延系統(tǒng)對(duì)真空度要求及其高，對(duì)真空腔體的密封性、材料放氣率、微量雜質(zhì)氣體和水蒸氣比較敏感，本系統(tǒng)采用伯東德國 Pfeiffer 分子泵對(duì)超高真空腔體進(jìn)行抽真空，確保超高真空及真空的穩(wěn)定性，對(duì)晶格的生長起到很好的作用。

　　客戶案例：上海某設(shè)備商 Lazer MBE 超高真空系統(tǒng)

　　系統(tǒng)運(yùn)行條件：

　　1. 主要針對(duì)金屬薄膜及材料器件的氧化物外延生長。

　　2. 超高真空生長室，直徑12英寸。

　　3. 額定基壓：<1x10^-6 Torr

　　4. 配有12個(gè)加熱泄流源

　　5. 襯底加熱器加熱溫度950℃

　　6. 可放置6個(gè)1"的靶及3個(gè)2"的靶

　　7. 質(zhì)量流量計(jì)控制進(jìn)入真空腔的流量，量程 100sccm

　　8. 線型進(jìn)樣室實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)送片

　　激光分子束外延伯東 Pfeiffer 分子泵配置:

　　1.分子泵 Hipace 400 *1

　　2.隔膜泵 MVP 020 *1

　　3.分子泵 Hipace 80 *1

　　4.隔膜泵 MVP 015-2 *1

　　5.全量程真空計(jì)(PKR 251+TPG 261)*1

　　上海伯東主營產(chǎn)品：德國普發(fā) Pfeiffer 渦輪分子泵，干式真空泵，羅茨真空泵，旋片真空泵;應(yīng)用于各種真空環(huán)境下的真空計(jì)，氦質(zhì)譜檢漏儀，質(zhì)譜分析儀以及美國考夫曼公司 KRI 離子源 離子槍 霍爾源，美國 HVA 真空閥門，Polycold 冷凍機(jī)，離子刻蝕機(jī)等。

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