真空系統(tǒng)的最大可容許漏率

2008-11-05 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

　　真空系統(tǒng)漏氣是絕對的，不漏氣是相對的在真空檢漏技術(shù)中所指的“漏”是和最大容許漏率的概念聯(lián)系在一起的。

qLmax≤1/10PwS (1)
式中Pw----系統(tǒng)工作壓力
S----系統(tǒng)的有效抽速

　　漏孔的氣流特性

　　氣體流經(jīng)漏孔的過程是很復(fù)雜的，可能包含有粘滯流、過渡流及分子流三種流動狀態(tài)。主導(dǎo)流動狀態(tài)與漏孔的幾何尺寸、氣體的種類、漏孔兩端的壓力及環(huán)境溫度有關(guān)。設(shè)環(huán)境溫度T=296K，入口壓力p2=1.01×105Pa，出口壓力。