①油增壓泵(主泵)串聯(lián)機(jī)械泵(前級(jí)泵)的真空系統(tǒng)。該系統(tǒng)的工作壓強(qiáng)范圍為1.33～1.33×10^-1pa。其優(yōu)點(diǎn)是抽氣能力大，系統(tǒng)簡(jiǎn)單，振動(dòng)小，工作穩(wěn)定可靠，維修方便，成本低。缺點(diǎn)是預(yù)抽時(shí)間長(zhǎng)(同羅茨泵系統(tǒng)比較)，因?yàn)樵?.33～133.3Pa壓強(qiáng)范圍內(nèi)，油增壓泵和機(jī)械泵抽速部下降；工作中需要較貴重的增壓泵油。

    ②羅茨泵串聯(lián)機(jī)械泵的真空系統(tǒng)。該系統(tǒng)的工作壓強(qiáng)范圍為1.33～1333Pa。不但抽氣能力大，而且起動(dòng)快。預(yù)抽氣時(shí)間短，因?yàn)樵?.33～101325Pa壓強(qiáng)范圍內(nèi)。機(jī)械泵和羅茨泵最大抽速能很好連接上，缺點(diǎn)是工作時(shí)有振動(dòng)，且噪音大；工作中隨時(shí)間增加，羅茨泵性能下降。圖14就是這種系統(tǒng)，它是用在真空離子滲碳和真空淬火熱處理工藝中的系統(tǒng)。這里除羅茨泵系統(tǒng)之處，又并聯(lián)一個(gè)小機(jī)械囊。它在離子滲碳時(shí)開(kāi)動(dòng)，并同時(shí)停止羅茨泵系統(tǒng)，可節(jié)省能量。

    ③羅茨泵串聯(lián)小型羅茨泵(中間泵)，再串聯(lián)機(jī)械泵的真空系統(tǒng)，其工作壓強(qiáng)范圍為O.133～1333Pa。不但工作壓強(qiáng)范圍大，而且工作真空度高，同時(shí)具備了羅茨泵系統(tǒng)的特點(diǎn)。中間串聯(lián)的小型羅茨泵減小了主羅茨泵對(duì)前級(jí)機(jī)械泵的依賴(lài)性，因?yàn)閴嚎s比減小，加寬了工作壓強(qiáng)范圍和提高了極限真空度。

圖：典型的住真空系統(tǒng)

    ④以油增壓泵和羅茨泵為主泵，兩個(gè)泵出口串聯(lián)羅茨泵．再串聯(lián)機(jī)械泵的真空系統(tǒng)，其工作壓強(qiáng)范圍為O.133～1333Pa。該系統(tǒng)具有羅茨泵系統(tǒng)和油增壓泵系統(tǒng)的雙重特點(diǎn)，如圖15所示，被稱(chēng)為真空自耗爐的典型系統(tǒng)，對(duì)于熔煉鈦合金具有突出優(yōu)點(diǎn)。

    ⑤除了上述幾種之外，還有油增壓泵串聯(lián)羅茨泵，再串聯(lián)機(jī)械泵的真空系統(tǒng)。還有羅茨泵串聯(lián)水環(huán)泵的真空系統(tǒng)，它適合于排出灰塵較多的應(yīng)用設(shè)備上。