(1)被抽容器內原有的空間大氣，若容器的容積為Vm³，抽氣初始壓強為P_oPa，則容器內原有的大氣量為VP₀Pa·m³；

    (2)被抽容器內一旦被抽空，暴露于真空下的各種材料構件的表面就將把原來在大氣壓下所吸收和吸附的氣體解析出來，這部分氣體來源我們稱之為放氣，單位時間內的放氣流量可以用Q_fPa·m³／s來示；

    實驗表明，材料表面單位時間內單位表面積的放氣率q可以用式(27)的經驗公式來計算。

    真空室內暴露于真空下的構件表面，可能有多種材料。所以總的表面放氣流量Q_f為式(49)。

      (3)大氣通過容器壁結構材料向真空室內滲透的氣體流量，以Q_sPa·m³／s表示。滲透的氣流量即是大氣通過容器壁結構材料擴散到容器中的氣體流量。氣體的這種滲透是有選擇性的，例如：氫只有分離為原子才能透過鈀、鐵、鎳和鋁；氫對鋼的滲透將隨鋼中含碳量的增加而增加。氦分子能透過玻璃。氫、氮、氧和氬、氖、氦能透過透明的石英。一切氣體都能透過有機聚合物，如橡膠、塑料等。但是所有的隋性氣體都不能透過金屬。除了有選擇性之外，滲透氣流量Q_s還與溫度、氣體的分壓強有關。在材料種類、溫度和氣體分壓強確定時，滲透氣流量Q_s是個微小的定值。

    (4)液體或固體蒸發(fā)的氣體流量Q_ZPa·m³／s。空氣中水分或工藝中的液體在真空狀態(tài)下蒸發(fā)出來，這是在低真空范圍內常常發(fā)生的現(xiàn)象。在高真空條件下，特別是在高溫裝置中，固體和液體都有一定的飽和蒸氣壓。當溫度一定時，材料的飽和蒸氣壓是一定的，因而蒸發(fā)的氣流量也是個常量。

    (5)大氣通過各種真空密封的連接處，通過各種漏隙通道泄漏進入真空室的漏氣流量Q_LPa·m³／s。對于確定的真空裝置，漏氣流量Q_L是個常數(shù)。漏氣流量通�？赏ㄟ^所說的壓升率，即單位時間內容器中的壓強增長率P_x來計算式(28)。

    當真空泵啟動之后，真空系統(tǒng)即對被抽容器抽氣。此時，真空系統(tǒng)對容器的有效抽速若以S_e表示，容器中的壓力以P表示，則單位時間內系統(tǒng)所排出的氣體流量即是S_eP。容器中的壓強變化率為dP/dt，容器內的氣體減少量即是V dP/dt。根據(jù)動態(tài)平衡，可列出如下方程(29)。

    這個方程稱為真空系統(tǒng)抽氣方程。式中V是被抽容器的容積，由于隨著抽氣時間t的增長，容器內的壓力P降低，所以容器內的壓強變化率dP/dt是個負值。因而V dP/dt是個負值，這表示容器內的氣體減少量。放氣流量Q_f，滲透氣流量Q_s，蒸發(fā)的氣流量Q_z和漏氣流量Q_L都是使容器內氣體量增多的氣流量。S_eP則是真空系統(tǒng)將容器內氣體抽出的氣流量，所以方程中記為一S_eP。

    對于一個設計、加工制造良好的真空系統(tǒng)，抽氣方程(29)中的放氣Q_f滲氣Q_s、漏氣Q_L和蒸氣Q_z的氣流量都是微小的。因此抽氣初期(粗真空和低真空階段)真空系統(tǒng)的氣體負荷主要是容器內原有的空間大氣。隨著容器中壓強的降低，原有的大氣迅速減少，當抽空至1～10^-1Pa時，容器中殘存的氣體主要是漏放氣，而且主要的氣體成分是水蒸汽。如果用油封式機械泵抽氣，則試驗表明，在幾十～幾Pa時，還將出現(xiàn)泵油大量返流的現(xiàn)象。