(1)流導(dǎo)

    就一個(gè)真空系統(tǒng)管路元件(包括導(dǎo)管、閥門、捕集器等)來(lái)說(shuō)，若其入口壓力P₁和出口壓力P₂不相等，即管路元件的兩端存在壓強(qiáng)差P₁-P₂，則元件中將有氣流從高壓側(cè)流向低壓側(cè)(如圖3)。

管道中氣流從高壓側(cè)流向低壓側(cè)

    若流經(jīng)元件的氣流量是Q，實(shí)驗(yàn)和理論都證明Q值的大小與元件兩端的壓強(qiáng)差P₁-P₂成正比。用數(shù)學(xué)式子來(lái)表示Q與P₁-P₂之間的關(guān)系，則可寫成式(5)。

    該比例常數(shù)C稱為流導(dǎo)。式(6)即是流導(dǎo)的定義式。它表明：在單位壓差下，流經(jīng)管路元件氣流量的大小被稱為流導(dǎo)。在國(guó)際單位制中，氣流量Q的單位是Pa·m³／s，P₁-P₂的單位是Pa，所以流導(dǎo)的單位是m³／s。

流導(dǎo)計(jì)算公式

    流導(dǎo)的大小說(shuō)明在管路元件兩端的壓強(qiáng)差P₁-P₂一定的條件下流經(jīng)管路元件的氣流量的多少。從式(5)可見(jiàn)，當(dāng)壓差P₁-P₂一定時(shí)，流導(dǎo)C的值較大，那么流經(jīng)管路元件的氣流量Q的值就較大；反之流導(dǎo)C的值小，則流經(jīng)元件的氣流量Q就小。所以作為真空系統(tǒng)管路元件，不管是導(dǎo)管、還是閥門、捕集器、除塵器等，都希望它的流導(dǎo)值盡可能大一些，使氣流能順利地通過(guò)。因此，流導(dǎo)是真空系統(tǒng)管路元件的一個(gè)重要參數(shù)。在真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)計(jì)算中，要計(jì)算管路元件以及某段真空系統(tǒng)管路的流導(dǎo)。

(2)流導(dǎo)幾率

    流導(dǎo)幾率也稱為傳輸幾率，其物理意義是氣體分子從元件的入口入射進(jìn)入元件能從管路元件的出口逸出的概率。在分子流狀態(tài)下，利用流導(dǎo)幾率來(lái)表征真空系統(tǒng)管路元件對(duì)氣體的導(dǎo)通性能更直觀，更本質(zhì)。用p_r來(lái)表示流導(dǎo)幾率，則流導(dǎo)幾率的定義式為式(7)。

流導(dǎo)幾率的定義式

    從式(8)可以看出，管路元件的流導(dǎo)C等于該元件入口孔的流導(dǎo)C_fk和其流導(dǎo)幾率P_r的乘積。通常，管路元件入口孔的流導(dǎo)C_fk是很容易求得的，如果知道了元件的流導(dǎo)幾率P_r，則利用式(8)可以很容易地計(jì)算出元件的流導(dǎo)。