研制出定容法正壓漏孔校準(zhǔn)裝置。采用滿量程分別為133 Pa( 差壓式) 、1. 33 × 10⁵ Pa( 絕壓式) 的兩臺(tái)高精度電容薄膜真空計(jì)測(cè)量壓力變化，通過(guò)全金屬密封結(jié)構(gòu)減小定容室漏放氣對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響; 采用高精度半導(dǎo)體雙級(jí)恒溫系統(tǒng)獲得了296 ± 0. 02 K 的恒溫效果，減小溫度對(duì)漏孔漏率的影響; 通過(guò)三個(gè)不同的標(biāo)準(zhǔn)體積作為定容室，拓寬裝置的校準(zhǔn)范圍。研究結(jié)果證實(shí)，研制的校準(zhǔn)裝置僅采用定容法實(shí)現(xiàn)了3 × 10 ^-1 ～ 4 × 10 ^-8 Pa·m³ /s 的校準(zhǔn)范圍，合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為1. 2% ～ 3.2%。

　　正壓漏孔是向大氣壓環(huán)境下提供穩(wěn)定氣體流量的裝置，常用于標(biāo)定吸槍模式下工作的檢漏儀及其它正壓條件下的泄漏漏率，在航空航天、空調(diào)、電力、微電子、半導(dǎo)體等行業(yè)得到廣泛應(yīng)用。為了保證正壓漏孔提供漏率數(shù)據(jù)的正確性，必須進(jìn)行定期校準(zhǔn)。

　　正壓漏孔的校準(zhǔn)方法通常有定容法、恒壓法、定量氣體動(dòng)態(tài)比較法、光譜儀法等。定容法正壓漏孔校準(zhǔn)裝置的特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低，其校準(zhǔn)范圍受溫度波動(dòng)、定容室體積大小及參考標(biāo)準(zhǔn)等因素影響，一般為10 ^-1 ～ 5 × 10 ^-6 Pa·m³ /s; 恒壓法正壓漏孔校準(zhǔn)裝置相對(duì)復(fù)雜、成本高，校準(zhǔn)范圍一般為10 ^-5 ～ 10 ^-7 Pa·m³ /s; 定量氣體比較法采用質(zhì)譜計(jì)作為比較器，通過(guò)配置標(biāo)準(zhǔn)氣體實(shí)現(xiàn)校準(zhǔn)，其范圍一般為10 ^-6 ～ 10 ^-8 Pa·m³ /s 量級(jí); 光譜儀法校準(zhǔn)裝置采用紅外檢測(cè)技術(shù)測(cè)量累積室中泄漏氣體濃度變化得到泄漏漏率，主要用于校準(zhǔn)制冷劑氣體的泄漏漏率，裝置的研制和運(yùn)行成本比較高，校準(zhǔn)范圍一般為1 ～ 50 g /y。

　　目前，大多數(shù)應(yīng)用領(lǐng)域所用正壓漏孔漏率范圍為10 ^-2 ～ 10 ^-7 Pa·m³ /s，中國(guó)只有蘭州物理研究所( LIP) 采用定容法和動(dòng)態(tài)比較法實(shí)現(xiàn)了以上校準(zhǔn)范圍。本文在參考國(guó)內(nèi)正壓漏孔校準(zhǔn)技術(shù)的基礎(chǔ)上，采用滿量程分別為133 Pa( 差壓式) 、1. 33 × 10⁵ Pa( 絕壓式) 的兩臺(tái)高精度電容薄膜真空計(jì)測(cè)量定容室中氣體壓力變化，采用全金屬密封結(jié)構(gòu)減小定容室的漏放氣，通過(guò)高精度半導(dǎo)體雙級(jí)恒溫系統(tǒng)減小溫度對(duì)漏孔漏率的影響，通過(guò)三個(gè)不同標(biāo)準(zhǔn)體積作為定容室拓寬校準(zhǔn)范圍，僅用定容法實(shí)現(xiàn)3 × 10 ^-1～ 4 × 10 ^-8 Pa·m3 /s 的校準(zhǔn)范圍，滿足大多數(shù)應(yīng)用領(lǐng)域?qū)φ龎郝┛椎男��?zhǔn)需求。

結(jié)

　　研制的正壓漏孔校準(zhǔn)裝置，采用滿量程分別為133 Pa( 差壓式) 、1. 33 × 10⁵ Pa( 絕壓式) 的兩臺(tái)高精度電容薄膜真空計(jì)測(cè)量定容室中氣體壓力變化，用全金屬密封結(jié)構(gòu)減小定容室的漏放氣，設(shè)計(jì)的高精度半導(dǎo)體雙級(jí)恒溫系統(tǒng)將溫度恒定在296 ± 0. 02K，從而減小了溫度對(duì)漏孔漏率的影響，通過(guò)三個(gè)不同標(biāo)準(zhǔn)體積作為定容室拓展裝置的校準(zhǔn)范圍。研究結(jié)果表明，僅采用定容法實(shí)現(xiàn)了3 × 10 ^-1 ～ 4 × 10 ^-8 Pa·m3 /s的校準(zhǔn)范圍，合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為1. 2%～ 3. 2%，裝置具有成本低、范圍寬、效率高等優(yōu)點(diǎn)，能滿足大多數(shù)正壓漏孔校準(zhǔn)的需求。