高真空玻璃系統(tǒng)的研究與改進

馬寅光 張滌新 劉蘇民

(蘭州空間技術物理研究所 蘭州 730000)

　　摘要：在真空技術中經常需要設計和制造玻璃真空系統(tǒng)。玻璃真空系統(tǒng)具有其特有的優(yōu)勢，結構簡單、過程直觀、改造方便、造價低廉、加工時間短。

　　在一些特定條件下是金屬系統(tǒng)不可取代的，例如在真空蒸餾活性堿金屬的過程中，由于強堿金屬對于金屬真空系統(tǒng)具有

　　腐蝕作用，導致金屬系統(tǒng)在堿金屬氣氛下不能長時間工作，而玻璃系統(tǒng)可以緩解這種腐蝕，使得系統(tǒng)可以長時間工作在堿金屬氣氛中而不會降低其真空性能。

　　本文正是基于玻璃真空系統(tǒng)的這種不可替代性，對典型的玻璃高真空系統(tǒng)進行了研究和改進。提出了利用小型鈦離子泵和玻璃四級擴散泵聯(lián)合抽氣的方法實現(xiàn)玻璃真空系統(tǒng)的高真空。內容主要包括玻璃真空系統(tǒng)的典型結構、玻璃真空系統(tǒng)的測量、玻璃真空系統(tǒng)的檢漏、改進后玻璃真空系統(tǒng)的結構、性能等內容。