為了適應(yīng)超高真空系統(tǒng)進(jìn)行高溫烘烤的需要，在超高真空管道連接處應(yīng)采用金屬密封墊圈，其材料大都是具有延展性好、蒸氣壓低的一些金屬及合金（如銦、鋁、銅、銀、金、蒙耐爾合金等）。金屬密封墊圈與彈性體墊圈相比較雖然具有放氣量小、滲透率低、能耐高溫烘烤等優(yōu)點(diǎn)，但是密封時(shí)需要有較大的壓緊力和較嚴(yán)格的調(diào)整技術(shù)，而且重復(fù)使用次數(shù)也較少。

    與彈性體O形圈相類似的金屬密封墊圈是絲形圈。如圖11所示，把絲形圈夾壓在兩個(gè)法蘭之間即可達(dá)到密封的目的。圖中（a）適用于銦絲，因

為它在小的壓力下就可變形，但銦的熔點(diǎn)較低，不能烘烤到高溫。鋁絲可烘烤到400^oC，但需要較大夾緊壓力。圖中（b）適用于可重復(fù)烘烤到450^oC溫度也不漏氣的金絲密封墊圈。金絲在作為墊圈使用前必須退火以增大延展性。銅絲墊圈較少使用，因?yàn)樗�與不銹鋼法蘭的膨脹系數(shù)差別太大，在熱循環(huán)中會(huì)漏氣。

    金屬密封墊圈密封的最經(jīng)常采用的形式是剪切一個(gè)矩形截面的銅環(huán)。圖12就是利用這種原理的四種密封形式。圖中a為交錯(cuò)階形密封；b為重疊階形密封。這類密封墊圈一般只用一次。圖中c是矩形截面金屬墊圈密封的另一種形式。密封作用形成在刀緣兩邊，調(diào)整壓力可改變卡入深度。用鈍的刀口是為了保證法蘭與墊圈的接觸良好。圖中d是錐形刀緣密封。c、d兩種密封形式均可重復(fù)使用幾次。