常用CF法蘭的型號(hào)和尺寸表

2019-10-05 郭方準(zhǔn) 實(shí)用真空技術(shù)

  CF法蘭的內(nèi)側(cè)有凸起的鋒利刀口,通過(guò)擠壓無(wú)氧銅墊圈(或其他軟金屬)使其變形而達(dá)到密封真空的目的,是全金屬材料的密封方式,被廣泛應(yīng)用于超高真空系統(tǒng)中。CF法蘭也常用ICF法蘭來(lái)表示,CF后面的數(shù)字是標(biāo)準(zhǔn)的導(dǎo)管內(nèi)徑,而ICF后面的數(shù)字是法蘭的外徑。常用CF法蘭的型號(hào)和尺寸見表1。

  CF法蘭分為固定型和松套型兩種。固定型法蘭為一體化結(jié)構(gòu)。松套型法蘭由擠壓銅墊圈的刀口部分和通過(guò)螺栓的固定部分構(gòu)成。法蘭上可開通孔或螺紋孔。開有通孔的法蘭要通過(guò)螺栓和螺母固定;開有螺紋孔的法蘭可直接使用螺栓固定。法蘭的材質(zhì)主要為 SUS304(或 SUS304L),因?yàn)镾US304放出氣體少,加工和焊接比較容易。

表1 常用CF法蘭的型號(hào)和尺寸

常用CF法蘭的型號(hào)和尺寸

  注:n×d中n為孔的個(gè)數(shù),d為孔徑(mm)。

  CF法蘭的特點(diǎn)是不分雌雄,包括無(wú)氧銅墊圈在內(nèi)全部由金屬構(gòu)成,因此可以承受高溫(250℃以上)烘烤。其缺點(diǎn)是價(jià)格高,無(wú)氧銅墊圈不能多次重復(fù)使用。

CF法蘭的安裝

  CF法蘭的安裝要求較高。因?yàn)闊o(wú)氧銅墊圈被擠壓后會(huì)變形,所以用均等力量扭緊螺栓非常重要。如果螺栓用力不均勻,會(huì)使對(duì)角位置的法蘭翹起,以至于漏氣。扭緊螺栓的力矩大約如下:M4螺栓20kgf·cm,M6螺栓70kgf·cm,M8螺栓100kgf·cm。

CF法蘭使用注意事項(xiàng)

  CF法蘭使用時(shí)有幾個(gè)注意點(diǎn):螺栓一定要涂抹 MoS2,以免螺栓和螺母咬合卡死;法蘭外周要對(duì)齊;法蘭面要保持一點(diǎn)距離,為烘烤后繼續(xù)上緊螺栓留出余地。

  CF法蘭中,刀口要切入金屬密封圈來(lái)實(shí)現(xiàn)真空密封。長(zhǎng)期使用,刀口會(huì)逐漸變鈍。另外,受硬器碰撞后刀口容易受傷。這時(shí)的補(bǔ)救措施之一,是使用IPD金屬密封圈。IPD金屬密封圈不依靠法蘭的刀口,而依靠刀口外周的斜面來(lái)密封。

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