真空系統(tǒng)中常用的玻璃-金屬封接結(jié)構(gòu),要求封接處具有氣密性、一定強度、耐烘烤和一定的電絕緣性能。常用的玻璃-金屬封接的類型有:①匹配封接;②不匹配封接; ③過渡封接。

       匹配封接是指玻璃與金屬的線膨脹系數(shù)在一定溫度范圍內(nèi)是相近的(差值小于10%)。不匹配封接時,玻璃與金屬線膨脹系數(shù)差值較大(差值大于10%)。當(dāng)玻璃與金屬線膨脹系數(shù)相差甚大時可采用線膨脹系數(shù)介于玻璃與金屬之間的一種或幾種玻璃來進(jìn)行過渡封接。

(a)B-A 規(guī)引線的圍封結(jié)構(gòu); (b) 振動薄膜規(guī)上蓋的圍封結(jié)構(gòu); (c)可伐法蘭與玻璃的管封結(jié)構(gòu); (d) 多頭引線圍封結(jié)構(gòu); (e) 可伐法蘭、鉬桿與玻璃的圍封和管封結(jié)構(gòu)

圖1　玻璃與金屬封接結(jié)構(gòu)示例

       封接從結(jié)構(gòu)上可分為圍封結(jié)構(gòu)、管封結(jié)構(gòu)和盤封結(jié)構(gòu)。圍封結(jié)構(gòu)是指封接金屬桿的四周是用玻璃包圍起來的結(jié)構(gòu),如真空規(guī)管引線等。見圖1。常用的管封結(jié)構(gòu)為金屬圓管和玻璃圓管的對接結(jié)構(gòu)。如可伐法蘭接頭與玻璃管的封接。見圖1。