磁力傳動(dòng)密封裝置在各種真空設(shè)備上的應(yīng)用已經(jīng)十分廣泛。它不但可以將動(dòng)密封轉(zhuǎn)化為靜密封，而且還可以作為機(jī)械手通過(guò)手動(dòng)或機(jī)動(dòng)等方式實(shí)現(xiàn)向真空容器中傳遞各種不同運(yùn)動(dòng)，其安裝的結(jié)構(gòu)形式多為臥式。傳遞的力或轉(zhuǎn)矩以及直線運(yùn)動(dòng)的位移，可根據(jù)各種要求進(jìn)行磁路的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。目前在各種不同用途的真空設(shè)備中傳遞的力矩最大已達(dá)到1300 N·m，轉(zhuǎn)矩為110 N·m，直線或螺旋線運(yùn)動(dòng)的最大位移量為1.8 m，現(xiàn)在就幾種真空設(shè)備上采用的磁力傳動(dòng)密封裝置介紹如下。

在真空獲得設(shè)備及容積式真空泵上的應(yīng)用

　　國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的旋片式、滑閥式、余擺線式等容積式真空泵，其轉(zhuǎn)軸多采用O 形橡膠圈進(jìn)行密封，泵在工作中由于機(jī)械摩擦和振動(dòng)等原因不但易于漏氣和污染真空環(huán)境而且使用壽命短，需經(jīng)常更換橡膠密封件。采用磁力傳動(dòng)密封裝置后的容積式真空泵不但在結(jié)構(gòu)上取代了傳遞精度低、振動(dòng)大、軸與軸承受力不均的皮帶輪傳遞，而且在減小泵體積的同時(shí)，也實(shí)現(xiàn)了電機(jī)與泵的直連。圖10、圖11 分別給出了旋片式機(jī)械真空泵、滑閥式機(jī)械真空泵兩種不同密封結(jié)構(gòu)比較。

1. 軸承組件; 2. 內(nèi)磁轉(zhuǎn)子; 3. 外磁轉(zhuǎn)子; 4. 隔離密封套; 5. 支撐架; 6.皮帶輪; 7.端面密封圈; 8- 氣體通道

圖10 旋片式機(jī)械真空泵兩種不同密封結(jié)構(gòu)比較

1. 軸承組件; 2. 內(nèi)磁轉(zhuǎn)子; 3. 外磁轉(zhuǎn)子; 4. 隔離密封套; 5. 支撐架; 6.皮帶輪; 7.橡膠密封組件

圖11 滑閥式機(jī)械真空泵兩種不同密封結(jié)構(gòu)比較

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