任何油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)中都會(huì)因發(fā)生故障而有可能影響設(shè)備的性能或生產(chǎn)能力。任何一只閥門(mén)的誤操作都會(huì)使擴(kuò)散泵泵油返流到真空室內(nèi)，從而污染真空室和產(chǎn)品。前級(jí)管道上的漏孔、機(jī)械泵油液面高度不適當(dāng)或前級(jí)管道閥門(mén)的失靈都會(huì)使前級(jí)壓力超過(guò)臨界值。當(dāng)前級(jí)壓力超過(guò)臨界值時(shí)，擴(kuò)散泵油會(huì)迅速返流到真空室里去。

　　在許多情況下，泵液的返流是由設(shè)備發(fā)生故障或操作步驟不當(dāng)造成的。要做到這些注意事項(xiàng)的最簡(jiǎn)便的辦法就是實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)全自動(dòng)操作。有了自動(dòng)控制和定期維護(hù)，就可以提供完善的故障保護(hù)。并使返流減少到只有很少一點(diǎn)有機(jī)物污染的程度。

　　下面列出了操作人員必須熟悉的幾條注意事項(xiàng)。

　　1.不能用機(jī)械泵將真空室直接抽至低于13.3Pa的壓力。因?yàn)楫?dāng)壓力低于13.3Pa時(shí)會(huì)引起機(jī)械泵油蒸汽分子返流到真空室而造成污染。如果在機(jī)械泵與真空室之間有油氣捕集器， 則允許機(jī)械泵抽到13.3Pa以下壓力。

　　2.如果在擴(kuò)散泵入口與高真空閥之間裝有液氮冷阱，則在抽氣時(shí)不要在真空室的壓力高于10^-2Pa 時(shí)，給阱加入液氮，否則將使冷阱中凝結(jié)過(guò)多的水氣。冷阱加液氮前，要把冷阱貯液罐中的所有水凝液清除掉，以避免水凍結(jié)在阱內(nèi)。

　　3.在因?yàn)樾枰�必須將擴(kuò)散泵（或油增壓泵）通大氣之前，應(yīng)將泵油冷卻到安全溫度以下，防止高溫下泵油的氧化。

　　4.要防止因前級(jí)管道上的漏水、機(jī)械泵油液面高度不適當(dāng)或前級(jí)管道閥門(mén)的失靈使擴(kuò)散泵的前級(jí)壓力超過(guò)臨界值，當(dāng)前級(jí)壓力超過(guò)臨界值時(shí)，泵液會(huì)迅速返流到真空室里去。

　　5.擴(kuò)散泵最好配備熱保護(hù)繼電器，當(dāng)發(fā)生停水事故時(shí)，能立即使加熱器斷電，并關(guān)閉泵入口閥門(mén)，防止泵液因溫度過(guò)高變壞和返流。

　　6.擴(kuò)散泵在穩(wěn)定的工作狀態(tài)下，不應(yīng)超過(guò)最大氣體負(fù)荷能力（最大抽氣量）。應(yīng)盡量避免在15～10^-1Pa 的壓力范圍內(nèi)長(zhǎng)期工作，因?yàn)樵谠搲毫Ψ秶鷥?nèi)，擴(kuò)散泵和粗抽泵有最大返流率。

　　7.擴(kuò)散泵工作時(shí)應(yīng)經(jīng)常檢查泵是否有局部過(guò)熱，檢查冷卻水溫，水溫過(guò)高時(shí)應(yīng)加大冷卻水量。

　　8.擴(kuò)散泵的使用環(huán)境應(yīng)要求盡量符合規(guī)定，如果室溫高于35℃，濕度大于80％，泵的性能會(huì)下降。

　　9.擴(kuò)散泵正常工作時(shí)，如真空系統(tǒng)的真空計(jì)規(guī)管打碎，或放氣閥突然打開(kāi)時(shí)，應(yīng)馬上關(guān)閉高真空閥。防止泵油氧化。

　　10.擴(kuò)散泵停止使用期間應(yīng)真空保存，冷卻水用壓縮空氣吹干凈。