油擴散泵的工作原理與結(jié)構(gòu)
2020-05-03 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理
1、概述
油擴散泵的工作原理與水蒸汽噴射泵相似，都是靠高速蒸汽射流來攜帶氣體以達(dá)到抽氣的目的，故有如水蒸汽噴射泵相似的特點。
不同點是擴散泵工作在高真空區(qū)域，其工作壓強范圍為10-2～10-6pa。廣泛用于電子、化工、冶金、機械、石油及原子能等工業(yè)部門中。
2、油擴散泵的工作原理與結(jié)構(gòu)
圖3：油擴散泵結(jié)構(gòu)示意圖
圖3是擴散泵的結(jié)構(gòu)示意圖。當(dāng)油蒸汽從傘形噴咀(如I級噴咀)以超音速噴出后，其速度逐漸增大，壓力及密度逐漸降低，射流上邊的被抽氣體A因密度差要向蒸汽射流中擴散并被射流攜帶到水冷的泵壁處B，在B處，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油鍋中循環(huán)使用，而被抽氣體在B處堆積、壓縮，最后被下級射流攜帶走，以達(dá)到逐級壓縮，最后被前級泵抽走。其抽速特性曲線如圖4所示。
圖4：油擴散泵抽氣速率與入口壓力的關(guān)系曲線
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