渦輪分子泵的工作原理

2013-07-12 張以忱 東北大學(xué)

  渦輪分子泵于1957年首次問世,各國(guó)真空企業(yè)都有產(chǎn)品投放市場(chǎng),已獲得發(fā)展和推廣應(yīng)用。渦輪分子泵的應(yīng)用范圍與擴(kuò)散泵基本相同,這兩種泵均可由前級(jí)泵不停地向大氣中排氣,進(jìn)口壓力在1 Pa~10-7 Pa范圍,抽氣都對(duì)分子類別無(wú)選擇性,從70 l/s~10000l/s的泵都能得到。特殊用途還有更小或更大的渦輪分子泵。擴(kuò)散泵有60000 l/s的產(chǎn)品,目前一般用途的渦輪分子泵沒有大于10000l/s的。

  分子泵輸送氣體應(yīng)滿足二個(gè)必要條件:

  1、渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)下工作。因?yàn)楫?dāng)將一定容積的容器中所含氣體的壓力降低時(shí),其中氣體分子的平均自由程則隨之增加。在常壓下空氣分子的平均自由程只有 0.06 μm ,即平均看一個(gè)氣體分子只要在空間運(yùn)動(dòng) 0.06 μm ,就可能與第二個(gè)氣體分子相碰。而在 1.3Pa 時(shí),分子間平均自由程可達(dá) 4.4mm 。若平均自由程增加到大于容器壁間的距離時(shí),氣體分子與器壁的碰撞機(jī)會(huì)將大于氣體分子之間的碰撞機(jī)會(huì)。在分子流范圍內(nèi),氣體分子的平均自由程長(zhǎng)度遠(yuǎn)大于分子泵葉片之間的間距。當(dāng)器壁由不動(dòng)的定子葉片與運(yùn)動(dòng)著的轉(zhuǎn)子葉片組成時(shí),氣體分子就會(huì)較多地射向轉(zhuǎn)子和定子葉片,為形成氣體分子的定向運(yùn)動(dòng)打下基礎(chǔ)。

  2、分子泵的轉(zhuǎn)子葉片必須具有與氣體分子速度相近的線速度。具有這樣的高速度才能使氣體分子與動(dòng)葉片相碰撞后改變隨機(jī)散射的特性而作定向運(yùn)動(dòng)。

  分子泵的轉(zhuǎn)速越高,對(duì)提高分子泵的抽速越有利。實(shí)踐表明,對(duì)不同分子量的氣體分子其速度越大,泵抽除越困難。例:H2在空氣中含量甚徽,但由于H2分子具有很大的運(yùn)動(dòng)速度( 最可幾速度為1557m/s) ,所以分子泵對(duì)H2的抽吸困難。通過對(duì)極限真空中殘余氣體的分析,可發(fā)現(xiàn)氫氣比重可達(dá)85%,而分子量較大,而運(yùn)動(dòng)速度慢的油分子所占的比重幾乎為零。這就是分子泵對(duì)油蒸氣等高分子量的氣體的壓縮比很高,抽吸效果好的原因。

  現(xiàn)以渦輪分子泵的一個(gè)葉片為例說(shuō)明它的抽氣原理。假設(shè)一個(gè)軸流式單葉列在分子流范圍內(nèi)以速度 V 運(yùn)動(dòng),如圖1所示。

渦輪分子泵抽氣機(jī)理圖

圖1:渦輪分子泵抽氣機(jī)理圖

  設(shè) I 側(cè)為吸入側(cè),Ⅱ側(cè)為排氣側(cè)。從 I 側(cè)向Ⅱ側(cè)運(yùn)動(dòng)的氣體分子,可分為以下幾種情況:有一部分氣體分子與葉片的端部相碰返回 I 側(cè),一部分氣體分子直接通過葉片槽到達(dá)Ⅱ側(cè),還有一部分氣體分子在葉片槽內(nèi)與葉片壁相碰,其碰撞結(jié)果將使一部分到達(dá)Ⅱ側(cè),而另一部分氣體分子返回 I 側(cè)。同樣,對(duì)于Ⅱ側(cè)來(lái)講,也有一部分氣體分子自Ⅱ側(cè)直接抵達(dá) I 側(cè),一部分氣體分子與葉片碰撞后或返回Ⅱ側(cè)或抵達(dá) I 側(cè)。如圖 21(b) 所示,當(dāng) I 側(cè)的氣體分子與葉片相碰后反射方向在α1 角內(nèi)的將又回到 I 側(cè),而反射方向在β1 角內(nèi)的氣體分子最后將進(jìn)入到Ⅱ側(cè)或散射回 I 側(cè),撞擊在γ1 角內(nèi)再反射的氣體分子將進(jìn)入Ⅱ側(cè);同樣,凡是從Ⅱ側(cè)入射到葉片上的氣體分子在角α2 內(nèi)再反射的氣體分子仍回到 I 側(cè),在角γ2 內(nèi)再反射的氣體分子將散射到 I 側(cè),而在角度β2 內(nèi)再反射的氣體分子或散射到 I 側(cè)或返回Ⅱ側(cè)。從α1 、α2 、β1 、β2 、γ1 、γ2 角度的大小關(guān)系可以看出:氣體分子從 I 側(cè)最終通過葉片進(jìn)入到Ⅱ側(cè)的幾率 M21 大于氣體分子從Ⅱ側(cè)最終到達(dá) I 側(cè)的幾率 M 21 且葉片的運(yùn)動(dòng)速度 V 值越大,效果越明顯,這樣就實(shí)現(xiàn)了泵的抽氣目的。葉片的傾角α、葉片弦長(zhǎng) b 、節(jié)弦比 S0 、線速度 V 對(duì)葉列的抽氣效果都有影響。

  設(shè) N1 、 N2分別表示自 I 側(cè)和 I 側(cè)入射到葉片的氣體分子流量。而用 W 表示由 I 側(cè)到達(dá)Ⅱ側(cè)的凈氣體分子流量與入射氣體分子流量之比, W 稱何氏系數(shù),則有公式(1)或公式(2)

渦輪分子泵抽氣機(jī)理計(jì)算公式

  假定葉片兩側(cè)溫度相等,而且氣體分子速度分布函數(shù)相同,則N2 / N1等是密度比n2 / n1等或是壓縮比P2 / P1。即:(3)

渦輪分子泵抽氣機(jī)理計(jì)算公式

  通過葉列的凈氣體流量為零時(shí),可得最大壓縮比 (4)

渦輪分子泵抽氣機(jī)理計(jì)算公式

  在壓縮比為1時(shí) (P2=P1) ,何氏系數(shù)最大,即 (5)

渦輪分子泵抽氣機(jī)理計(jì)算公式

  實(shí)際的渦輪分子泵都是由多級(jí)葉列串聯(lián)組成,即按動(dòng)片、定片、動(dòng)片、……次序交替排列的。泵的總壓縮比是由葉列的級(jí)數(shù)決定的。在渦輪分子泵的設(shè)計(jì)中,應(yīng)對(duì)多級(jí)葉列的組合進(jìn)行優(yōu)化選配。一般在泵入口側(cè)附近應(yīng)選擇抽速較大的葉片形狀及尺寸,其壓縮比可以相對(duì)的小一些。在經(jīng)過幾級(jí)壓縮之后氣體壓力升高,抽速下降了,這時(shí)就應(yīng)該選擇那種壓縮比高、抽速低的葉片形狀。這樣設(shè)計(jì)可以使整臺(tái)泵的抽氣性能得到抽速大、壓縮比高、級(jí)數(shù)少的理想結(jié)果。

  計(jì)算分子泵葉列傳輸幾率M12和M21的方法很多。例如:積分方程法、角系數(shù)法、蒙特卡羅法、矩陣法、工程近似計(jì)算法等等。