主要討論設(shè)計(jì)參數(shù)對(duì)滑閥真空泵性能的影響，對(duì)影響滑閥泵的極限壓力、抽氣速率、功率及噪聲等性能的因素進(jìn)行了具體的分析，并提出了有利于提高滑閥真空泵性能的設(shè)計(jì)思路。間隙是影響滑閥真空泵性能的最主要的因素；潤滑油是影響滑閥真空泵性能的重要因素；泵體的溫度間接影響滑閥真空泵性能；其它因素對(duì)滑閥真空泵性能影響很大。

1、極限壓力

　　影響滑閥泵極限全壓力的關(guān)鍵因素是間隙�；�閥泵的極限全壓力主要由極限壓力（不可凝氣體的壓力） 和飽和蒸汽壓（可凝氣體的壓力）組成�；�閥泵泵腔內(nèi)的各運(yùn)動(dòng)部件間由于存在一定的間隙，在氣體壓縮排出階段會(huì)有部分氣體因壓力超過進(jìn)氣壓力而通過間隙返流，而進(jìn)氣口端潤滑油的飽和蒸汽壓與返流無關(guān)，因此返流影響滑閥泵的極限壓力。

　　下面討論間隙對(duì)滑閥泵極限壓力的影響。對(duì)于單級(jí)滑閥泵，返流造成的抽速損失為：

式中S損失———單級(jí)滑閥泵的抽速損失
　　Q返流———單級(jí)滑閥泵的返流的氣體流量
　　P排———單級(jí)滑閥泵的排氣壓力
　　P進(jìn)———單級(jí)滑閥泵的進(jìn)氣壓力
　　C間隙———滑閥泵各主要運(yùn)動(dòng)件之間間隙的流導(dǎo)
　　K———滑閥泵間隙總的流導(dǎo)系數(shù)

　　滑閥泵在進(jìn)氣壓力達(dá)到極限壓力時(shí)，滑閥泵的實(shí)際抽速為零，排氣閥一直關(guān)閉，可得：

　　當(dāng)滑閥泵達(dá)到極限壓力時(shí)，滑閥泵的實(shí)際抽速為零，即有：

式中S理論———單級(jí)滑閥泵的理論抽速
　　P極限———單級(jí)滑閥泵的理論極限壓力
　　P大氣———大氣壓力

　　上式推出單級(jí)滑閥泵的理論極限壓力P極限與間隙的關(guān)系，滑閥泵的實(shí)際極限壓力總是大于理論極限壓力P極限，實(shí)際運(yùn)行中，滑閥泵需要潤滑油潤滑和密封，潤滑油的密封效果越好，實(shí)際極限壓力與理論極限壓力越接近；潤滑油的密封效果越差，實(shí)際極限壓力與理論極限壓力相差越大，滑閥泵的理論極限壓力是實(shí)際極限壓力的基礎(chǔ)。同時(shí)，由于間隙的大小會(huì)影響潤滑油的密封效果，由此可以得出這樣一個(gè)結(jié)論：單級(jí)滑閥泵的間隙越小，則泵的理論極限壓力越低，潤滑油的密封效果好，從而使得滑閥泵的實(shí)際極限壓力低。

　　雙級(jí)滑閥泵是由高真空級(jí)與低真空級(jí)串聯(lián)而成，下文用高缸代表高真空級(jí)，用低缸代表低真空級(jí)。同理，對(duì)于雙級(jí)滑閥泵，返流造成的低缸的抽速損失由上文可得：

式中S低缸理論———雙級(jí)滑閥泵低缸的理論抽速
　　P低缸極限———雙級(jí)滑閥泵低缸的極限壓力
　　P大氣———大氣壓力
　　K低缸———雙級(jí)滑閥泵低缸間隙總的流導(dǎo)系數(shù)

　　高缸在極限壓力附近的返流為分子流狀態(tài)，則此時(shí)高缸的間隙流導(dǎo)與壓力無關(guān)，只與高缸間隙大小相關(guān)，所以可設(shè)此時(shí)高缸的間隙流導(dǎo)為C 高缸。高缸沒有排氣閥，高缸的排氣壓力始終與低缸的進(jìn)氣壓力相同，所以可得：

式中S高缸理論———雙級(jí)滑閥泵高缸的理論抽速
　　P極限———雙級(jí)滑閥泵的理論極限壓力

　　從上式可以看出，高、低缸的間隙共同決定雙級(jí)滑閥泵的理論極限壓力。由此可以推出：在實(shí)際運(yùn)行中，雙級(jí)滑閥泵的高、低缸的間隙越小，則泵的理論極限壓力越低，潤滑油的密封效果相對(duì)越好，從而使得雙級(jí)滑閥泵的實(shí)際極限壓力越低。