滑閥泵應(yīng)用范圍和使用條件與旋片泵基本相同。

　　滑閥泵因其結(jié)構(gòu)特點，容量比旋片泵大得多，常用在大型真空設(shè)備上。滑閥泵有單級和雙級兩種形式。單級泵的極限壓力對小泵≤0.6Pa，對大泵≤1.3Pa，雙級泵的極限壓力≤0.06Pa(均關(guān)氣鎮(zhèn))。

　　滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大偏心 ，如沒有很好的質(zhì)量平衡，會產(chǎn)生較大振動。但泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)心的運動軌跡是形狀復(fù)雜的封閉曲線，很難實現(xiàn)對滑閥泵慣性力的完全平衡。

　　滑閥泵的振動限制了泵轉(zhuǎn)速的提高，泵轉(zhuǎn)速一般在350～600r/min，個別也有達(dá)1000r/min以上的。

　　新型三腔滑閥泵的出現(xiàn)，較好地解決了滑閥泵的質(zhì)量平衡，使泵的振動得到了有效的控制，泵轉(zhuǎn)速也可相得到提高。

圖1 滑閥泵工作原理圖

　　泵主要由泵體、偏心輪、滑閥組件和導(dǎo)軌等組成。

　　與泵腔同心的驅(qū)動軸帶動偏心輪旋轉(zhuǎn)，偏心輪帶動滑閥環(huán)運動，使滑閥桿在導(dǎo)軌中上下滑動和左右擺動。滑閥將泵腔分成A、B兩個部分。當(dāng)驅(qū)動軸按圖中所示方向轉(zhuǎn)動時，A腔容積增加，壓力降低，氣體經(jīng)滑閥桿A腔一側(cè)的開口進(jìn)入A腔，此時處于吸氣過程。當(dāng)滑閥處于左上方位置時(圖3-16c中)，A腔容積達(dá)最大，此時進(jìn)氣口與A腔隔絕，完成吸氣過程;B腔容積減小，壓縮氣體。當(dāng)B腔內(nèi)氣體壓力達(dá)到排氣壓力時，推開油封的排氣閥，開始排氣。當(dāng)滑閥處于左上方位置時，排氣終了。

1.泵蓋 2.氣鎮(zhèn)量調(diào)節(jié)閥 3.導(dǎo)管 4.逆止閥 5.油氣分離器

圖2 滑閥泵結(jié)構(gòu)圖