1、羅茨泵機組各測點噪聲值分析

　　該機組共有五臺泵，每個泵都與冷凝器和電機連接，冷凝器和電機的大小隨著泵的大小而變化。泵越大，冷凝器和電機也越大。同時，在第一級泵、第二級泵、第三級泵和第四級泵排氣口與冷凝器之間都用波紋管連接，只有五級泵排氣口沒有波紋管。故在泵的兩側(cè)所測噪聲主要是由該級泵、冷凝器、電機和波紋管貢獻。

　　通過對機組在各真空度對個測點進行聲壓測試，得到各測點聲壓值曲線圖，如圖3 所示。同樣可以得到羅茨真空機組噪聲三維分布圖，如圖4 所示。

　　圖3 各測點聲壓值圖

　　通過圖1 和圖3 可以得知：每一次測試在測點3、4、5、6、7 和11、12、13、14、15 其噪聲值比較大，測點7 和11 在一級泵的兩側(cè)，測點6 和12在二級泵的兩側(cè)，測點5 和13 在三級泵的兩側(cè)，測點4 和14 在四級泵的兩側(cè)，測點3 和15 在五級泵的兩側(cè)。而測點18 由于在消聲器的背部，其噪聲值較小。在不同真空度的情況下，各級泵的兩側(cè)測點所測聲壓值基本上一致，故真空技術(shù)網(wǎng)(www.chvacum.com)認為可以把各級泵兩側(cè)所測聲壓值作為所對應的泵的聲壓值；同時，在真空度為8000Pa 時，泵的噪聲最大，其次是5000Pa 和11000Pa，再是25000Pa。通過對比可知各級泵對總噪聲貢獻大小依次為第三級泵、第二級泵、第四級泵、第一級泵和第五級泵。

　　根據(jù)在真空度為8000 Pa 時各測點聲壓值可以得到在真空度為8000 Pa 羅茨真空機組噪聲三維分布圖，如圖4 所示，可以看出在各泵處的噪聲值比較大，故各級泵的噪聲對整個機組的噪聲貢獻最大，需對其進行分析。

圖4 真空度為8000 Pa 羅茨真空機組噪聲三維分布圖

2、羅茨泵機組各級泵的主要噪聲源

　　從圖3 和圖4 可知，各級泵為整個機組的主要噪聲來源，尤其是二級泵、三級泵和四級泵的噪聲值較大，故此，對此三泵的各主要部件進行噪聲測試，每級泵主要分三個部分，上面是泵體和電機，中間是波紋管，下面是冷凝器，由于這三個部分安裝的比較緊湊，相距比較近，故測試時不再是距離需要測試部位1.5 m，而是距離0.25 m，測試時真空度為25000 Pa。具體測試的噪聲值如表1。

表1 第二、三、四級泵各部位噪聲值

　　從表1 可以看出，波紋管的噪聲值最大，冷凝器其次，再次是泵體和電機的噪聲值。故此，對于整個羅茨泵機組而言，波紋管的噪聲貢獻量最大。由于第三級泵對整個機組的噪聲貢獻最大，圖5 為在極限真空度為25000 Pa 下第三級泵對應測點13 的倍頻程圖，圖6 為真空度為25000Pa 下第三級泵波紋管噪聲頻譜圖。從圖5 和圖6 可以看出，真空度為25000 Pa時，第三級泵對應測點13 在頻率為1200 Hz 時噪聲值最大，第三級泵波紋管處同樣也在1200 Hz時噪聲值最大。因為測點13 的最大噪聲頻率與該真空度下波紋管最大噪聲頻率相同，這說明在此真空度下第三級泵的噪聲波紋管貢獻最大。雖然波紋管本身具有吸收設(shè)備振動，減少設(shè)備振動對管道的影響的作用，但此時的振動頻率與波紋管自身的固有頻率相近，故波紋管此時振動最大;因此可以在波紋管外面包一層錫紙或設(shè)計其他的減振裝置，以降低波紋管的噪聲。

圖5 真空度為25000Pa 下第三級泵對應測點13 的噪聲倍頻程圖

圖6 真空度為25000Pa 第三級泵波紋管噪聲倍頻程圖