一、引言

　　渦旋的概念相當(dāng)久遠(yuǎn)，20世紀(jì)初世界上就已經(jīng)有了渦旋技術(shù)的專(zhuān)利。但由于當(dāng)時(shí)技術(shù)水平的限制，渦旋機(jī)構(gòu)制造不出來(lái)，渦旋的概念也就被淡忘了。1973年渦旋機(jī)構(gòu)被重新提起并制造出第一臺(tái)模型機(jī)構(gòu)，使這項(xiàng)技術(shù)實(shí)際應(yīng)用成為可能。渦旋機(jī)構(gòu)的可*性高、運(yùn)行平穩(wěn)、噪音極低、節(jié)省能源等潛力和巨大優(yōu)勢(shì)馬上引起了冰箱行業(yè)的重視和迫切需求，大受行業(yè)領(lǐng)先者青睞，迅速被投入工業(yè)化應(yīng)用。Trance、Hitachi、Copland等著名公司的渦旋壓縮機(jī)技術(shù)與產(chǎn)品引領(lǐng)了世界渦旋技術(shù)實(shí)用化的浪潮，帶動(dòng)了如冰箱、空調(diào)等諸多行業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和產(chǎn)品的更新?lián)Q代。

　　今天渦旋技術(shù)已經(jīng)由初期的應(yīng)用在壓縮機(jī)行業(yè)推廣到真空泵制造業(yè)，實(shí)現(xiàn)了全無(wú)油、運(yùn)行更平穩(wěn)、噪音更低、更加節(jié)省能源的渦旋清潔真空獲得技術(shù)的實(shí)用化。人們應(yīng)用渦旋概念與原理制造出了對(duì)真空應(yīng)用儀器設(shè)備和環(huán)境沒(méi)有污染，并且抽速、壽命、能耗等指標(biāo)均優(yōu)于普通油泵的單級(jí)、雙級(jí)無(wú)油渦旋真空泵系列產(chǎn)品。

　　上個(gè)世紀(jì)90年代初，世界上首臺(tái)渦旋真空泵推向市場(chǎng)，渦旋技術(shù)由此開(kāi)始作為一種新型真空獲得技術(shù)在世界范圍內(nèi)被推廣應(yīng)用。到目前為止，世界上渦旋真空泵的生產(chǎn)廠(chǎng)家集中在美國(guó)、日本和歐洲，以日本的Anestta、美國(guó)的Varian、德國(guó)的Busch等為代表。產(chǎn)品包括了自0.25L/S到10L/S系列產(chǎn)品，有些15L/S或更大抽氣量的產(chǎn)品也在試驗(yàn)階段。

二、無(wú)油渦旋真空泵的特點(diǎn)與應(yīng)用領(lǐng)域

　　清潔的真空環(huán)境一直是科學(xué)家和企業(yè)界追求的理想真空環(huán)境.自能夠創(chuàng)造真空環(huán)境開(kāi)始，人們就試圖采用不同手段達(dá)到清潔真空的效果.時(shí)至今日，清潔真空獲得設(shè)備已經(jīng)發(fā)展到冷凝泵、住賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等多種產(chǎn)品.在現(xiàn)有的無(wú)油真空泵當(dāng)中，無(wú)油渦旋真空泵與其他種類(lèi)的無(wú)油真空泵相比具有下述特點(diǎn)：

　�、贌o(wú)油，無(wú)摩擦——真空腔內(nèi)無(wú)油，非接觸，無(wú)磨損，不產(chǎn)生微粒塵埃污染，可獲得清潔真空；

　　②抽氣量大——雙渦旋盤(pán)，結(jié)構(gòu)與單級(jí)相比相同直徑泵抽氣容積為2倍，節(jié)省能源；

　�、鄢闅庑�率高——帶有3-4個(gè)抽氣單元，壓差�。淮髿馀c真空之間由O型圈密封，泄漏低；

　�、芊墙佑|，良好平衡，力矩影響小，噪音低，振動(dòng)�。�

　　⑤結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊，相同尺寸下，運(yùn)動(dòng)半徑小，運(yùn)行平穩(wěn)；

　�、摅w積小，維修方便，維護(hù)費(fèi)用低；

　�、卟捎每諝饫鋮s，無(wú)需水冷。

　　目前無(wú)油渦旋真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)椋?/p>

　�、侔雽�(dǎo)體行業(yè)——薄膜制備設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備；

　�、诳茖W(xué)儀器行業(yè)——同步輻射光束線(xiàn)、電子顯微鏡、分析測(cè)試儀器；

　�、蹤C(jī)械設(shè)備行業(yè)——材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)、材料提純?cè)O(shè)備；

　�、芑瘜W(xué)工業(yè)；

　�、葆t(yī)療設(shè)備——牙科儀器、透析機(jī)、生物制品與藥品制備；

　�、薨�裝行業(yè)——食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備。

三、無(wú)油渦旋真空泵工作原理、技術(shù)指標(biāo)以及與普通油泵的對(duì)比

　　無(wú)油渦旋真空泵主要由5個(gè)部件組成：

　�、賱�(dòng)靜渦旋盤(pán)付與基座；

　�、谇�軸；

　　③密封墊；

　　④防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)；

　�、蓦姍C(jī)。

　　無(wú)油渦旋真空泵的渦旋盤(pán)就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開(kāi)線(xiàn)螺旋形成的一個(gè)渦旋型盤(pán)狀結(jié)構(gòu)體。一個(gè)靜渦旋盤(pán)與一個(gè)動(dòng)渦旋盤(pán)相互交*組裝在一起，兩者之間由防自轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)保證180。相位差，這樣結(jié)合組成的一對(duì)渦旋盤(pán)付構(gòu)成了無(wú)油渦旋真空泵的基本抽氣機(jī)構(gòu)。靜渦旋盤(pán)與動(dòng)渦旋盤(pán)彼此之間在幾條直線(xiàn)(即橫截面渦旋線(xiàn)上的幾個(gè)點(diǎn))上接觸形成對(duì)稱(chēng)的幾對(duì)月牙腔，動(dòng)渦旋盤(pán)在曲軸的驅(qū)動(dòng)下繞靜渦旋盤(pán)的渦旋體中心運(yùn)動(dòng)，使靜渦旋盤(pán)與動(dòng)渦旋盤(pán)的接觸點(diǎn)沿渦旋曲面移動(dòng)實(shí)現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣。例如在雙級(jí)無(wú)油渦旋真空泵中，有兩個(gè)方向?qū)��?yīng)的靜渦旋盤(pán)，一個(gè)位于兩個(gè)渦旋盤(pán)之間的動(dòng)渦旋盤(pán)。動(dòng)、靜渦旋盤(pán)相對(duì)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣體從抽氣口吸人、排氣口排出，完成吸氣、壓縮、排氣的循環(huán)。曲軸每轉(zhuǎn)一轉(zhuǎn)，就有一組新的月牙腔形成，所以無(wú)油渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)以近1500轉(zhuǎn)/分的頻率被連續(xù)重復(fù)，對(duì)被抽氣體形成包容和強(qiáng)制輸送。

　　真空技術(shù)網(wǎng)(http://www.13house.cn/)認(rèn)為，無(wú)油渦旋真空泵(Oil free scrloo vacuum pump)與普通油真空泵相比具有顯著的特點(diǎn)。下面以普通旋片真空泵為例，說(shuō)明其差別：

表1 無(wú)油渦旋真空泵與普通直聯(lián)式旋片真空泵技術(shù)指標(biāo)的對(duì)比

四、無(wú)油渦旋真空泵的優(yōu)點(diǎn)及其能給用戶(hù)解決的問(wèn)題

1、無(wú)油渦旋真空泵性能優(yōu)越

　　無(wú)油渦旋真空泵的主要優(yōu)點(diǎn)主要包括：

　�、倜芊庑粤己�，沒(méi)有向機(jī)械泵那樣直接連接吸、排氣腔的泄漏通道，容易密封，容易達(dá)到較高的真空度。

　　②回轉(zhuǎn)半徑小，動(dòng)靜渦旋盤(pán)相對(duì)滑動(dòng)速度僅為旋片真空泵的1/7左右，動(dòng)靜渦旋盤(pán)之間的動(dòng)密封相對(duì)容易，有利于延長(zhǎng)泵的使用壽命。

　�、蹓嚎s進(jìn)程必較緩慢，有2個(gè)或者3個(gè)壓縮過(guò)程同時(shí)進(jìn)行，壓縮腔相對(duì)曲軸對(duì)稱(chēng)，這樣泵的運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程平穩(wěn)、驅(qū)動(dòng)力矩和氣體沖擊波動(dòng)小，使泵的噪音和振動(dòng)降低。

　　總而言之，無(wú)油渦旋真空泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、具有較高的壓縮比，在較寬的壓力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速，工作壓力范圍寬；動(dòng)靜渦旋盤(pán)之間間隙小、泄漏少，由于壓縮腔容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動(dòng)扭矩變化小，功率變化小，振動(dòng)噪聲低，可*性高。這是其它類(lèi)型的干式真空泵所不具備的。

2、無(wú)油渦旋真空泵解決了污染與振動(dòng)等基礎(chǔ)、共性問(wèn)題

　　由于普通旋片油泵的漏油、噪聲、返油污染、高能耗以及振動(dòng)等問(wèn)題給用戶(hù)造成不良影響，如生物制品行業(yè)與半導(dǎo)體行業(yè)的油蒸汽污染與工藝系統(tǒng)返油問(wèn)題。真空鍍膜設(shè)備的鍍膜工藝中，在20～40Pa真空條件下鍍膜時(shí)，如果應(yīng)用普通旋片機(jī)械真空泵作為前級(jí)真空泵將對(duì)鍍膜工藝設(shè)備造成污染，影響成膜質(zhì)量。半導(dǎo)體晶片制造工藝當(dāng)中使用油泵與使用于泵相比，成品率存在明顯的差距，并且排出的油霧蒸汽對(duì)環(huán)境也有污染.科學(xué)儀器行業(yè)尤其是在分析測(cè)試儀器行業(yè)，采用油泵對(duì)測(cè)試結(jié)果將造成不良影響。大型同步輻射光束線(xiàn)上采用無(wú)油渦旋真空泵作為前級(jí)真空泵的作用也相當(dāng)明顯。另外無(wú)油渦旋真空泵消除了普通油泵的漏油給用戶(hù)帶來(lái)的環(huán)境污染與煩惱�，F(xiàn)有無(wú)油渦旋真空泵用戶(hù)的使用情況也證明了這種泵的優(yōu)越性和可靠性。

3、無(wú)油渦旋真空泵使系統(tǒng)制造與運(yùn)行成本降低

　　為防止普通旋片油真空泵對(duì)真空系統(tǒng)的返油污染，需要在抽氣系統(tǒng)中加冷阱捕獲油分子；系統(tǒng)運(yùn)行過(guò)程當(dāng)中還需要定期清洗除油；有的需要定期更換真空泵油.采用無(wú)油渦旋真空泵第一部需要加冷阱之類(lèi)捕油機(jī)構(gòu)、第二不需要更換真空泵油、第三振動(dòng)更小、運(yùn)行更平穩(wěn)、第四能耗降低、第五重量更輕、第六突破了油泵使用范圍的限制。這些優(yōu)點(diǎn)使無(wú)油渦旋真空泵成為普通旋片油真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。

五、無(wú)油渦旋真空泵的結(jié)構(gòu)

　　無(wú)油渦旋真空泵主要部件為渦旋盤(pán)付\曲軸和密封墊.該泵的抽氣——壓縮——排氣機(jī)理是在動(dòng)、靜渦旋盤(pán)相互不接觸的情況下，依*動(dòng)、靜渦旋盤(pán)相對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)形成吸氣腔和壓縮腔，將被抽氣體排出，連續(xù)完成吸氣、壓縮和排氣過(guò)程。在充分考慮抽氣過(guò)程中發(fā)生熱交換的情況下，盡量減少動(dòng)、靜渦盤(pán)問(wèn)的徑向和軸向間隙，可以提高抽速和極限真空度。

　　針對(duì)無(wú)油渦旋真空泵結(jié)構(gòu)上存在著的運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中水分和雜質(zhì)易積聚和軸承易磨損的弱點(diǎn)，加氣鎮(zhèn)閥是必要的選擇。

　　結(jié)構(gòu)上的改進(jìn)主要有兩點(diǎn)：

　�、偌託怄�(zhèn)閥使極限真空度保持要求值——進(jìn)氣壓力0.03MPa(G)以下，流量10L/min以下。

　�、谳S承端面加雙側(cè)密封圈密封，有效防止軸承磨損。

　　在無(wú)油渦旋真空泵的設(shè)計(jì)過(guò)程中，需要解決的問(wèn)題包括：

　�、贉u旋泵的CAD設(shè)計(jì)一一型線(xiàn)方程的確定及修正，初始角修正，運(yùn)動(dòng)模擬；

　�、跍u旋盤(pán)的加工一一加工精度、加工工藝間隙的大�。撼樗佟�極限真空度；

　�、蹨u旋盤(pán)的表面處理一一耐腐蝕、潤(rùn)滑、硬度、處理工藝、表面均勻性；

　�、苊芊鈮|材料的選擇與加工——密封墊要求有彈性、耐磨、不產(chǎn)生微粒。

六、無(wú)油渦旋真空泵的使用

1、安全注意事項(xiàng)

　　使用前與使用過(guò)程中應(yīng)當(dāng)注意的安全事項(xiàng)包括：

　　無(wú)油渦旋真空泵的抽氣范圍(用于抽潔凈氣體。不能抽有毒、易燃、易爆、腐蝕性氣體、化學(xué)品、溶劑及粉末等)。

　　安裝要求(安裝在沒(méi)有易燃、易爆物品、避雨、無(wú)蒸汽的安全場(chǎng)所)。

　　安裝在水平面上(傾角小于5。)。周?chē)鸁o(wú)灰塵、無(wú)鐵屑、石塊或木塊。

　　一定要安全接地。一定要安裝緊急制動(dòng)開(kāi)關(guān)。接線(xiàn)要由合格的電工完成)。

　　在合適的工作環(huán)境溫度(5～40℃)內(nèi)工作。

　　正確安裝使用(接線(xiàn)或檢查時(shí)必須切斷電源，不能將手指或其他物品放人泵的氣孔或冷卻翅片的間隙中)。

　　正確維修檢驗(yàn)(根據(jù)本說(shuō)明書(shū)要求定期檢查，泵徹底冷卻后再進(jìn)行維護(hù)與檢驗(yàn)工作；由專(zhuān)業(yè)人士維修，不能改造此泵)。

2、安裝方法

　　安裝前要認(rèn)真檢查下述各項(xiàng)：

　�、贆z查確認(rèn)包裝放置方向正確。

　�、跈z查確認(rèn)產(chǎn)品為訂購(gòu)的型號(hào)。

　�、蹤z查確認(rèn)無(wú)破損。

　�、鼙眠\(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)拆掉進(jìn)氣口與排氣口法蘭。如果連續(xù)帶法蘭工作，會(huì)對(duì)泵引起損害。

　　安裝時(shí)應(yīng)注意：

　�、侔惭b在避雨、無(wú)蒸汽的場(chǎng)所，避免電擊危險(xiǎn)；

　　②安裝在通風(fēng)良好、隔絕爆炸物、無(wú)腐蝕性和易燃?xì)怏w及其他有關(guān)物體處。

　　③安裝在堅(jiān)實(shí)、平整面上(傾角小于5。)，陽(yáng)光不能直射處。

　�、茉谝�(guī)定環(huán)境溫度范圍(5-40℃)內(nèi)工作。

　　要在真空室和進(jìn)氣口連線(xiàn)上安裝截止閥和排氣閥。這些閥用于開(kāi)關(guān)無(wú)油渦旋真空泵時(shí)阻止泵中積存的碎屑被抽回真空室中。開(kāi)關(guān)泵時(shí)要先關(guān)閉截止閥。連接管路一定要潔凈。建議使用軟管連接，這樣泵的振動(dòng)不會(huì)傳到真空室。連接排氣管時(shí)要注意管的長(zhǎng)度和尺寸。建議排氣管長(zhǎng)不超過(guò)15米，內(nèi)徑25mm。注意泵工作時(shí)排氣管不能堵塞。注意排氣壓力不能超過(guò)大氣壓。

　　連線(xiàn)時(shí)必須首先斷開(kāi)電源，由合格的電工連線(xiàn)。泵必須提供外部保護(hù)，如8L/s泵最小電路容量為單相、18A，最大分路電流斷路器容量為15A。一定要安裝推薦容量的電流斷路器以避免電機(jī)燒毀，電線(xiàn)和地線(xiàn)截面積一定要超過(guò)2mm²。否則會(huì)引起損害或火災(zāi)。與電機(jī)接線(xiàn)端子連接的電線(xiàn)要配適當(dāng)?shù)膱A圈形接頭。一定要接地。否則可能引起電擊或人身傷害。交貨時(shí)連線(xiàn)電壓為單相，220伏。

3、無(wú)油渦旋真空泵的操作——抽干燥氣體

　　無(wú)油渦旋真空泵在初次啟動(dòng)或者長(zhǎng)期不用時(shí)達(dá)到極限真空需要較長(zhǎng)時(shí)間。應(yīng)在關(guān)閉進(jìn)氣閥狀態(tài)下連續(xù)抽氣6~8小時(shí)，每小時(shí)打開(kāi)進(jìn)氣閥2～3次，每次3～5秒。如果泵抽水或者高濕度氣體(相對(duì)濕度>；60%)，水汽可能殘留在泵中降低泵的性能。這時(shí)關(guān)閉泵與系統(tǒng)之間的截止閥，啟動(dòng)泵，運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)打開(kāi)進(jìn)氣閥進(jìn)大氣幾次，每次3—5秒，可以將泵中的水汽排出。泵工作時(shí)要拆去進(jìn)氣口法蘭和排氣口法蘭，否則會(huì)對(duì)泵有損害。泵啟動(dòng)和關(guān)閉時(shí)要關(guān)閉截止閥，否則開(kāi)關(guān)泵時(shí)泵中積存的碎屑會(huì)被抽回真空室中。重新啟動(dòng)泵時(shí)，啟動(dòng)前要開(kāi)啟進(jìn)氣閥進(jìn)大氣3—5秒，否則會(huì)造成泵中溫度不平衡，導(dǎo)致泵失效。

　　無(wú)油渦旋真空泵的啟動(dòng)步驟包括：

　�、訇P(guān)閉截止閥(以免泵中積存的碎屑會(huì)被抽回真空室中(帶漏氣閥開(kāi)寸耍開(kāi)啟漏氣閥))；

　�、诖蜷_(kāi)泵開(kāi)關(guān)；

　�、坶_(kāi)啟截止閥(檢查確認(rèn)真空泵已開(kāi)啟，使用漏氣閥時(shí)要關(guān)閉漏氣閥，抽真空室)。

　　停泵步驟包括：

　�、訇P(guān)閉截止閥(避免泵中積存的碎屑被抽回真空室)；

　　②關(guān)閉泵開(kāi)關(guān)。

4、無(wú)油渦旋真空泵的操作——抽水汽

　　(1)抽水汽注意事項(xiàng)

　　無(wú)油渦旋真空泵的維護(hù)標(biāo)準(zhǔn)是以抽潔凈氣體為基礎(chǔ)制定的，抽水汽標(biāo)準(zhǔn)不同。因此要注意下述各點(diǎn)：

　�、俪樗�蒸汽泵的維護(hù)時(shí)間間隔必須縮短，因?yàn)樗�汽的溫度、抽除量、抽除頻率和水汽中物質(zhì)成份對(duì)泵的工作都有影響。

　　②抽水蒸汽時(shí)，要在規(guī)定溫度下工作，進(jìn)氣溫度必須低于50℃。當(dāng)被抽氣體溫度高于50℃時(shí)，應(yīng)當(dāng)在無(wú)油渦旋真空泵與真空室之間的連接管路上安裝冷卻器或冷阱，以降低進(jìn)氣溫度，使之低于50。進(jìn)氣溫度高于50℃會(huì)對(duì)無(wú)油渦旋真空泵造成損害。

　　③抽水汽時(shí)要加氣鎮(zhèn)閥，無(wú)油渦旋真空泵抽水蒸汽會(huì)導(dǎo)致水汽在泵內(nèi)凝結(jié)。凝結(jié)的水汽會(huì)引起泵極限真空度降低，或者對(duì)泵造成損害。氣鎮(zhèn)閥不僅能抽水汽，還能維持極限真空。

　　(2)氣鎮(zhèn)閥的使用注意事項(xiàng)

　　所謂氣鎮(zhèn)閥及其作用概念非常簡(jiǎn)單，就是在容積式真空泵的壓縮室上開(kāi)一小孔，裝上一個(gè)調(diào)節(jié)閥。打開(kāi)此調(diào)節(jié)閥啟動(dòng)無(wú)油渦旋真空泵，當(dāng)動(dòng)渦旋盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)某一位置時(shí)，空氣就通過(guò)小孔摻人壓縮室以降低壓縮比，從而使大部分水蒸氣不至于凝結(jié)，和摻入的氣體一起被排出泵外。這樣就達(dá)到了抽水蒸汽的目的。而這個(gè)調(diào)節(jié)閥就是氣鎮(zhèn)閥。氣鎮(zhèn)閥的使用注意事項(xiàng)包括：

　�、俪樗�汽時(shí)，必須開(kāi)啟氣鎮(zhèn)閥抽氣。如果氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉抽氣，水汽會(huì)在泵內(nèi)積結(jié)，對(duì)泵造成損害。

　　②抽水汽后，必須在開(kāi)啟氣鎮(zhèn)閥狀態(tài)下再抽氣超過(guò)1小時(shí)，如果抽水汽后立即關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥，水汽會(huì)在泵內(nèi)積結(jié)，對(duì)泵造成損害。

　　③當(dāng)給氣鎮(zhèn)閥口充氮?dú)饣蚋稍锎髿鈺r(shí)，要將壓力控制在大氣壓內(nèi)，流量小于10NL/min，氣壓高會(huì)對(duì)泵造成損害。

　�、墚�(dāng)被抽真空室內(nèi)濕度高于60%時(shí)，—定要開(kāi)啟氣鎮(zhèn)閥。

　�、菀欢ㄒ�在泵開(kāi)啟前、關(guān)閉后，開(kāi)啟和關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥，千萬(wàn)不能在泵工作過(guò)程中關(guān)閉氣鎮(zhèn)閥。泵工作時(shí)改變氣鎮(zhèn)閥工作狀態(tài)(開(kāi)啟或關(guān)閉)會(huì)使泵損壞，造成人身傷害。

　　(3)抽水汽時(shí)泵的操作

　　抽水汽時(shí)，泵的啟動(dòng)步驟包括：

　　①關(guān)閉截止閥(以免開(kāi)關(guān)泵時(shí)泵中積存的碎屑會(huì)被抽回真空室中(帶漏氣閥時(shí)要開(kāi)啟漏氣閥))；

　�、诖蜷_(kāi)氣鎮(zhèn)閥(拆下絲堵，換上氣體過(guò)濾器即可)；

　�、鄞蜷_(kāi)泵開(kāi)關(guān)；

　�、荛_(kāi)啟截止閥(檢查確認(rèn)真空泵已開(kāi)啟，使用漏氣閥時(shí)要關(guān)閉漏氣閥，抽真空室)。

　　抽水汽時(shí)，停泵步驟包括：

　�、訇P(guān)閉截止閥(避免泵中積存的碎屑被抽回真空室；

　�、陉P(guān)閉泵開(kāi)關(guān)；

　�、坳P(guān)閉氣鎮(zhèn)閥(結(jié)束氣鎮(zhèn)閥工作時(shí)，拆下氣體過(guò)濾器，用扳手輕輕擰上絲堵)。

5、無(wú)油渦旋真空泵的檢查與維護(hù)

　　(1)檢查與維護(hù)注意事項(xiàng)

　　①無(wú)油渦旋真空泵為防止碎屑在泵中沉積，每天抽大氣幾次，每次3～5秒。

　�、谝�注意高溫，在泵足夠冷卻后，再進(jìn)行檢查與維護(hù)。停泵后立即維修可能引起燒傷。

　�、蹤z查與維護(hù)之前一定要切斷電源。否則可能引起電擊或被旋轉(zhuǎn)物傷害。

　�、苋绻�安裝與工作條件差、工作環(huán)境溫度超過(guò)規(guī)定，請(qǐng)縮短維護(hù)間隔。環(huán)境溫度是泵失效的主要影響因。標(biāo)準(zhǔn)維護(hù)間隔是以環(huán)境溫度5～40℃，年平均溫度25℃為基礎(chǔ)制定的。

　　(2)檢查與維護(hù)內(nèi)容要點(diǎn)

6、故障診斷與排除

　　幾年來(lái)用戶(hù)在無(wú)油渦旋真空泵的使用過(guò)程中，陸續(xù)發(fā)現(xiàn)了各種問(wèn)題，也總結(jié)了問(wèn)題解決的方法。歸納起來(lái)，不外乎下述各種。如果出現(xiàn)故障，可以參照下表排除之。如果自己不能解決問(wèn)題，可以聯(lián)系賣(mài)泵的經(jīng)銷(xiāo)商和生產(chǎn)單位。同時(shí)筆者歡迎用戶(hù)提出使用中的問(wèn)題，以利于無(wú)油渦旋真空泵的進(jìn)一步改進(jìn)。

七、結(jié)束語(yǔ)

　　國(guó)內(nèi)以半導(dǎo)體、電子工業(yè)為代表的制造工藝當(dāng)中和科學(xué)研究與分析測(cè)試行業(yè)迫切需要無(wú)油污染的清潔真空環(huán)境，但是清潔真空獲得設(shè)備如冷凝泵、柱賽泵、爪式泵、渦旋泵以及隔膜泵等目前都沒(méi)有形成先進(jìn)的批量國(guó)產(chǎn)產(chǎn)品。進(jìn)口無(wú)油渦旋真空泵作為一種新產(chǎn)品，由于本文前述的價(jià)格、市場(chǎng)的開(kāi)拓和用戶(hù)的認(rèn)識(shí)程度等原因，沒(méi)有形成良性循環(huán)。這樣，一方面是迫切的市場(chǎng)需求，另一方面從價(jià)格與技術(shù)雙方面看沒(méi)有合適的產(chǎn)品，造成了極大的市場(chǎng)缺口。

　　毫無(wú)疑問(wèn)價(jià)格適中、性能可靠的無(wú)油渦旋真空泵將成為適合中國(guó)市場(chǎng)要求產(chǎn)品的主流，大力發(fā)展渦旋無(wú)油真空泵勢(shì)在必行。研制符合中國(guó)市場(chǎng)要求的渦旋類(lèi)及其它無(wú)油真空泵系列產(chǎn)品及其檢測(cè)技術(shù)手段也成為中國(guó)真空獲得行業(yè)進(jìn)一步發(fā)展的一個(gè)契機(jī)。

無(wú)油渦旋真空泵故障診斷表

　　為解決我國(guó)科學(xué)研究和新材料、半導(dǎo)體等行業(yè)發(fā)展面臨的技術(shù)手段存在的基礎(chǔ)、共性問(wèn)題，近年來(lái)已經(jīng)不斷有業(yè)內(nèi)專(zhuān)家向國(guó)內(nèi)介紹渦旋無(wú)油真空泵技術(shù)及其發(fā)展現(xiàn)狀，國(guó)外渦旋無(wú)油真空泵生產(chǎn)廠(chǎng)家與代理對(duì)中國(guó)市場(chǎng)的開(kāi)發(fā)使其在中國(guó)市場(chǎng)的銷(xiāo)量在逐年增長(zhǎng)。國(guó)內(nèi)真空行業(yè)相關(guān)企業(yè)也開(kāi)展了基礎(chǔ)、應(yīng)用研究及小規(guī)模試制無(wú)油渦旋真空泵生產(chǎn)等不同階段的探索，只是由于技術(shù)基礎(chǔ)、激勵(lì)機(jī)制、研發(fā)手段、資金投入的限制，研發(fā)工作進(jìn)展不是非常快。產(chǎn)品質(zhì)量、穩(wěn)定可*性、以及技術(shù)推廣與市場(chǎng)開(kāi)拓規(guī)劃、原則、手段等也是問(wèn)題。因此無(wú)油渦旋真空泵系列產(chǎn)品下一步產(chǎn)業(yè)化技術(shù)研發(fā)與市場(chǎng)開(kāi)發(fā)是企業(yè)必須解決的兩大問(wèn)題。隨著研發(fā)手段、資金投入、市場(chǎng)開(kāi)拓問(wèn)題的解決，無(wú)油渦旋真空泵將會(huì)打開(kāi)市場(chǎng)，從而提高整個(gè)真空獲得行業(yè)的技術(shù)水平。成功的無(wú)油渦旋真空泵系列產(chǎn)品研發(fā)與市場(chǎng)開(kāi)發(fā)模式也將為我國(guó)其他清潔真空獲得設(shè)備如冷凝泵、柱塞泵、爪式泵以及隔膜泵等提供有效的借鑒。