與螺桿式壓縮機類似，螺桿式干式真空泵的工作過程可分為吸氣、壓縮和排氣三個過程。隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，每對相互嚙合的齒相繼完成相同的工作循環(huán)，現(xiàn)在以其中一對齒來說明。

1、吸氣過程

　　圖1示出了螺桿真空泵的吸氣過程。在圖1中，陽轉(zhuǎn)子按逆時針方向旋轉(zhuǎn)，陰螺桿按順時針方向旋轉(zhuǎn)。圖中上方的轉(zhuǎn)子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。

a、吸氣過程即將開始 b、吸氣過程中 c、吸氣過程結(jié)束

圖1　螺桿式干式真空泵的吸氣過程

　　圖1a示出吸氣過程即將開始時的轉(zhuǎn)子位置。在這一時刻，這一對齒前端的型線完全嚙合，且即將與吸氣口連接。隨著轉(zhuǎn)子開始轉(zhuǎn)動，由于齒的一端逐漸脫離嚙合而形成了齒間容積，這個齒間容積的擴大，在其內(nèi)部形成了一定的真空，而此齒間容積又僅與吸氣口連通，因此氣體便在壓差作用下流入其中。如圖1b中陰影部分所示。在隨后的轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)過程中，陽轉(zhuǎn)子齒不斷從陰轉(zhuǎn)子齒的齒槽中脫離出來，齒間容積不斷擴大，并與吸氣孔口保持連通。吸氣過程結(jié)束時的轉(zhuǎn)子位置如圖1c所示，其最顯著的特點是齒間容積達到最大值。隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，所研究的齒間容積不會再增加。齒問容積在此位置與吸氣孔口斷開，吸氣過程結(jié)束。

2、壓縮過程

　　圖2示出螺桿泵的壓縮過程。圖中的轉(zhuǎn)于端面是排氣端面。在這里，陽轉(zhuǎn)子沿順時針方向旋轉(zhuǎn)，陰轉(zhuǎn)于沿逆時針方向旋轉(zhuǎn)。圖中上方的轉(zhuǎn)子端面是吸氣斷面，下方的端面為排氣端面。

a、壓縮過程即將開始 b、壓縮過程中 c、壓縮過程結(jié)束，排氣過程即將開始

圖2　螺桿式于式真空泵的壓縮過程

　　圖2a示出螺桿泵壓縮過程即將開始時的轉(zhuǎn)子位置.此時氣體被轉(zhuǎn)子齒和機殼包圍在一個封閉的空間中，齒間容積由于轉(zhuǎn)于齒的嚙合就要開始減小。隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，齒間容積由于轉(zhuǎn)子齒的嚙合而不斷減小。被密封在齒間容積中的氣體被占據(jù)體積也隨之減小，導(dǎo)致壓力升高，從而實現(xiàn)氣體的壓縮過程，如圖2b所示.壓縮過程可一直持續(xù)到齒間容積即將與排氣孔口連通之前。如圖2c所示。

3、排氣過程

a、排氣過程中 b、排氣過程結(jié)束

圖3　螺桿式干式真空泵的排氣過程

　　圖3示出螺桿泵的排氣過程。齒間容積與排氣孔口連通后，即開始排氣過程。隨著齒間容積的不斷縮小，具有排氣壓力的氣體逐漸通過排氣孔口被排出，

　　如圖3a所示。這個過程一直持續(xù)到齒末端的型線完全嚙合。此時，齒間容積內(nèi)的氣體通過排氣孔口被完全排出，封閉的齒間容積的體積變?yōu)榱恪?/p>

　　從上述螺桿干式真空泵工作原理可以看出，螺桿式干式真空泵是一種工作容積作回轉(zhuǎn)運動的容積式機械真空泵。氣體的壓縮依靠容積的變化來實現(xiàn)，而容積的變化又是借助螺桿泵的一對轉(zhuǎn)子在機殼內(nèi)作回轉(zhuǎn)運動來達到。它的工作客積在周期性擴大和縮小的同時，其空間位置也在變更。