螺桿式無(wú)油機(jī)械真空泵的結(jié)構(gòu)原理
螺桿式無(wú)油機(jī)械真空泵是利用齒輪傳動(dòng)同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動(dòng)，利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個(gè)空間、形成多個(gè)級(jí)，氣體在相等的各個(gè)槽內(nèi) ( 柱形等螺距 ) 進(jìn)行傳輸運(yùn)動(dòng)，但無(wú)壓縮，只有螺桿最末端的螺旋結(jié)構(gòu)對(duì)氣體有壓縮作用。
螺桿的各級(jí)間可形成壓力梯度，以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對(duì)泵的性能有很大影響。在設(shè)計(jì)螺桿各部的間隙時(shí)，要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境 ( 如抽除含粉塵氣體等 ) 等。該泵與羅茨真空泵一樣不設(shè)排氣閥。
圖25：螺桿式機(jī)械真空泵
圖 25 為日本橙山工業(yè)株式會(huì)社的 SDV-1500 泵的結(jié)構(gòu)示意圖。泵是立式結(jié)構(gòu)，進(jìn)氣口在上方，排氣口在中部，下部為電機(jī)和潤(rùn)滑油池。螺桿轉(zhuǎn)子呈中空形，為懸臂支承結(jié)構(gòu)。同步傳動(dòng)齒輪位于軸承支座下面。變頻電機(jī)通過(guò)聯(lián)軸節(jié)與主動(dòng)轉(zhuǎn)子連接。該泵的氣體路徑較短，且立式結(jié)構(gòu)對(duì)排除含微塵氣體較為有利。泵外殼有水冷卻，泵維修也便利。
這種類型的泵如果選用適當(dāng)?shù)妮^簡(jiǎn)單螺桿牙型截面，則制造簡(jiǎn)單，可保證很高的加工精度，且容易動(dòng)平衡。
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