羅茨泵的工作原理
2020-05-03 真空技術網(wǎng) 真空技術網(wǎng)整理
羅茨泵的結構如圖15 所示。在泵腔內(nèi)，有二個“ 8 ”字形的轉子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為 1 的一對齒輪帶動做彼此反向的同步旋轉運動。在轉子之間，轉子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙。由于羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故中、高真空羅茨泵需要前級泵。因此，羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結構和制造精度外，還取決于前級泵的極限真空度。
圖15 ：羅茨真空泵的結構簡圖
羅茨泵的工作原理既具有容積泵的工作原理，又有分子泵的抽氣效應。圖 16 為羅茨泵的工作原理圖。
圖16：羅茨真空泵的工作原理圖
由于轉子的連續(xù)旋轉，被抽氣體從泵進氣口吸入到下轉子與泵殼之間的空間 V0 內(nèi)，吸氣后 V0 空間是全封閉狀態(tài)。隨著轉子的轉動，封閉的 V0 空間與排氣口相通，由于排氣側氣體壓力較高，引起一部分氣體反沖過來，使 V0 空間內(nèi)的氣體壓力突然增高。當轉子繼續(xù)轉動時， V0 空間內(nèi)原來封入的氣體連同反沖的氣體一起被排向泵外。這時，上轉子又從泵入口封入 V0 體積的氣體。由于泵的連續(xù)運轉，使兩個轉子不停地形成封閉空間 V0 又不停地將封閉空間璣內(nèi)的氣體排出泵外，從而實現(xiàn)了抽氣的目的。
轉子主軸旋轉一周共排出四個 V0 體積的氣體。所以，泵的理論抽速為： (5.1)
式中 A0 ──泵腔的有效吸氣面積 mm2
n ──泵軸的轉數(shù) r/min
L ──轉子的長度 mm
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