間隙是影響滑閥泵有效抽速的主要因素。滑閥泵是一種變?nèi)菔?a href="http://www.13house.cn/pumps/">機(jī)械真空泵，滑閥泵在進(jìn)氣口壓力較高的時(shí)候，返流對(duì)泵抽速的影響很小，泵的抽速略小于泵的理論抽速；當(dāng)進(jìn)氣口壓力較低時(shí)，返流對(duì)泵抽速的影響增大，此時(shí)泵的抽速明顯減少。

        對(duì)于單級(jí)滑閥泵，間隙的大小直接影響單級(jí)滑閥泵的抽速。在相同進(jìn)氣壓力情況下，間隙越大，則間隙的流導(dǎo)越大，泵的抽速損失越大，泵的實(shí)際抽速越�。挥捎陂g隙的流導(dǎo)隨進(jìn)、排氣壓差的增大而增大，所以間隙對(duì)抽速的影響隨進(jìn)氣壓力的降低而增大。

        對(duì)于雙級(jí)滑閥泵，高缸間隙的大小直接影響雙級(jí)滑閥泵的抽速。在相同進(jìn)氣壓力情況下，高缸間隙越大，間隙的流導(dǎo)越大，高缸的抽速損失越大，泵的實(shí)際抽速越小，并且間隙對(duì)抽速的影響隨進(jìn)氣壓力的降低而增大。根據(jù)氣體連續(xù)方程，雙級(jí)滑閥泵在抽氣過程中有以下關(guān)系：

Q=S 低×P 低=S 高×P 高

式中Q —— —雙級(jí)滑閥泵實(shí)際抽取的氣體流量

        S 低—— 雙級(jí)滑閥泵高缸的實(shí)際抽速

         P 低—— 雙級(jí)滑閥泵低缸的進(jìn)氣壓力

         S 高—— 雙級(jí)滑閥泵高缸的實(shí)際抽速

          P 高—— 雙級(jí)滑閥泵高缸的進(jìn)氣壓力

        假定低缸進(jìn)氣壓力P 低不變，將低缸間隙加大，則低缸的抽速損失隨之增大，低缸的實(shí)際抽速S 低減少，泵的實(shí)際抽氣量Q 減少。從而我們先假設(shè)高缸進(jìn)氣壓力P 高不變，由于Q 減少，則高缸抽速S 高變��；或者我們假設(shè)高缸抽速S 高不變，由于Q 減少，則高缸進(jìn)氣壓力P 高降低，高缸進(jìn)、排氣口壓差（P 低- P 高）加大，進(jìn)而導(dǎo)致高缸抽速損失增大，高缸實(shí)際抽速S 高減少，這與假設(shè)矛盾，所以在此種情況下，高缸的實(shí)際抽速S 高必然減少。隨著低缸進(jìn)氣壓力P 低降低，由低缸間隙流導(dǎo)造成的低缸的抽速損失隨之增大，則高缸的抽速損失增大；同時(shí)隨著低缸進(jìn)氣壓力P 低降低，高、低缸之間的壓縮比P 低/P 高不斷增大，從而使得這種影響進(jìn)一步加強(qiáng)。從而我們可以得出這樣一個(gè)結(jié)論：低缸間隙的大小會(huì)影響雙級(jí)滑閥泵的抽速，低缸間的流導(dǎo)越大，泵抽速損失越大，泵的實(shí)際抽速越小，并且低缸間隙對(duì)抽速的影響隨進(jìn)氣壓力的降低而增大。在雙級(jí)滑閥泵抽氣過程中，高缸的氣體壓力總小于低缸的氣體壓力，則高缸返流的氣體的分子自由程長，低缸的短，所以低缸的間隙更容易造成氣體返流，對(duì)本級(jí)的抽速影響更大。同時(shí)，由于低缸的進(jìn)氣壓力總是大于高缸的進(jìn)氣壓力，使得在返流造成相同的抽速損失的情況下，低缸的抽速損失對(duì)雙級(jí)滑閥泵實(shí)際抽氣量Q 的影響更大。事實(shí)上，國外的雙級(jí)滑閥泵更注重控制低缸的間隙。

        綜上所述，為了降低滑閥泵的抽速損失，間隙應(yīng)是越小越好，對(duì)于雙級(jí)滑閥泵，高、低缸的間隙控制都重要。控制間隙是滑閥泵獲得好的抽速曲線的根本。

        潤滑油對(duì)滑閥泵的抽速影響很大。在滑閥泵整個(gè)吸、排氣過程中，潤滑油進(jìn)入泵腔對(duì)泵腔內(nèi)的運(yùn)動(dòng)件起到潤滑和密封作用，潤滑油密封效果的好壞直接影響泵的抽速。溶于潤滑油的被抽氣體在低壓時(shí)釋放出來，會(huì)影響滑閥泵吸氣過程中有效的氣體吸入量，從而影響滑閥泵的抽速，進(jìn)油量越大影響越明顯，并且隨著滑閥泵進(jìn)氣壓力的降低而增強(qiáng)，在進(jìn)氣壓力接近極限壓力時(shí)最為明顯。進(jìn)油量會(huì)影響泵的抽速。

        泵體的溫度也會(huì)影響泵的抽速。泵溫上升，泵內(nèi)的氣體受熱膨脹，從而減少滑閥泵有效的氣體流量，使泵的抽速減少。通常情況下一般滑閥泵的溫度控制在60℃以下。