在抽氣過(guò)程中，塵埃飛揚(yáng)主要發(fā)生在剛開(kāi)始抽除大氣的高壓力范圍內(nèi)，為此我們可以從真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)和操作方面采取措施防止和減少塵埃的產(chǎn)生。

         從抽氣機(jī)組泵的配置考慮，目前能夠抽大氣的大抽速真空泵主要有往復(fù)泵、水環(huán)泵、旋片泵和滑閥泵，其中能直接在塵埃條件下工作的只有水環(huán)泵，因此在有塵埃系統(tǒng)中用水環(huán)泵預(yù)抽大氣是比較好的方法。真空機(jī)組的配置可以是: 水環(huán)泵+ 羅茨泵+ 滑閥泵，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖如圖32（a）所示。在多機(jī)組的應(yīng)用場(chǎng)合，甚至可以考慮共用一臺(tái)大抽速水環(huán)泵。

（b）用可調(diào)孔板或閥門(mén)控制系統(tǒng)起動(dòng)時(shí)抽速

1. 被抽容器 2. 過(guò)濾器 3. 羅茨泵 4. 滑閥泵 5. 水環(huán)泵 V1～V4.閥門(mén) V5．可調(diào)閥門(mén)

圖32 含塵真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖

         從操作來(lái)說(shuō)，在抽大氣時(shí)適當(dāng)減小系統(tǒng)抽速有利于防止塵埃的飛揚(yáng)，例如圖32（b）所示的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，在被抽空間與泵之間設(shè)置可調(diào)閥門(mén)或可調(diào)孔板等以限制抽速。控制起始抽速，隨著系統(tǒng)壓力的下降，逐步打開(kāi)閥門(mén)或孔板以增加抽速，這種方法簡(jiǎn)便有效。但降低起始抽速會(huì)延長(zhǎng)抽氣時(shí)間，可根據(jù)被抽容器的容積、真空泵的抽速及起始抽速下降的程度，一般會(huì)延長(zhǎng)數(shù)分至數(shù)十分鐘。在對(duì)抽氣時(shí)間略有延長(zhǎng)可以允許的應(yīng)用場(chǎng)合，這是一種較好的操作方法。