我們認(rèn)為雙級(jí)旋片泵的高真空級(jí)與低真空級(jí)之間的關(guān)系類(lèi)似羅茨泵與前級(jí)泵的關(guān)系。

1、間隙對(duì)極限壓力的影響

        泵的極限壓力決定于低真空級(jí)極限壓力, 低真空級(jí)極限壓力低, 則高真空級(jí)極限壓力也低。因此低真空級(jí)的間隙非常重要, 一般認(rèn)為既然是低真空級(jí)要求不高, 間隙可以放大一些, 但實(shí)際卻截然相反,低真空級(jí)非常關(guān)鍵, 它這里的氣體分子自由程(相對(duì)高真空級(jí)而言) 小, 氣體阻力小, 容易泄漏, 因而間隙應(yīng)該小; 而高真空級(jí)處氣體分子自由程大,氣體阻力大,故間隙可以取得比低真空級(jí)大。例如英國(guó)EDWARDS 公司的E2M40旋片泵, 低真空級(jí)端面間隙為0.06 mm,而高真空級(jí)端面間隙為0.095mm;又如日本ULVAC(真空技術(shù)株式會(huì)社) 的D650K旋片泵低真空級(jí)端面間隙為0.05mm,高真空級(jí)端面間隙為0.08mm。

        這樣的間隙安排也符合熱膨脹的要求, 照一般規(guī)律旋片泵在(3.3～4) ×10⁴Pa 時(shí)功率最高, 以后應(yīng)逐漸下降。但我們?cè)跈z測(cè)中發(fā)現(xiàn)不少?gòu)S的泵的功率在這壓力以上不但不降, 反而繼續(xù)上升, 有的泵甚至卡死。原因在于隨著壓力的上升, 泵的功率和溫度也上升, 熱膨脹也厲害, 而高真空級(jí)的長(zhǎng)度一般為低真空級(jí)的2～4倍, 因此如高真空級(jí)的間隙小, 則熱膨脹使它的間隙越來(lái)越小,摩擦也越厲害, 惡性循環(huán)最終使泵(主要是高真空級(jí)) 卡死。

        此外切點(diǎn)間隙對(duì)泵的極限壓力影響極大。因?yàn)榍悬c(diǎn)二邊一是壓縮腔, 一是吸氣腔, 壓差較大, 尤其是在接近排氣時(shí), 壓差最大。這時(shí)壓縮氣體最容易通過(guò)切點(diǎn)間隙向吸氣腔返流, 所以切點(diǎn)間隙必須嚴(yán)格控制, 一般15L/s以下的泵應(yīng)控制在0.01~0.02mm , 大的泵也不能超過(guò)0.03mm。

2、高、低真空級(jí)之間通道的流導(dǎo)對(duì)抽速的影響

         增加高、低真空級(jí)之間通道的流導(dǎo), 有利于泵抽速的提高。對(duì)于一臺(tái)泵來(lái)說(shuō), 它的高、低真空級(jí)的壓縮比根據(jù)抽速的大小一般取1～6, 壓縮比越小, 向高真空級(jí)的返流和泄漏就越少, 有利于極限壓力的降低。在高、低真空級(jí)缸的比例確定之后, 要保證低真空時(shí)泵的抽速, 必須在高真空級(jí)排出處設(shè)置余氣閥, 這一點(diǎn)大家都已知道。但怎樣保證高真空時(shí)的抽速, 則很少有這方面的報(bào)道, 我們認(rèn)為這時(shí)就必須考慮高、低真空級(jí)之間的通道的流導(dǎo)。如果流導(dǎo)過(guò)小,低真空級(jí)由于通道流阻的影響, 不能有效地把高真空級(jí)排出的氣體完全抽吸, 導(dǎo)致氣體返流增加, 則就不能保證高真空級(jí)的抽速, 因此高、低真空級(jí)之間的流導(dǎo)直接影響到高真空時(shí)泵的抽速大小。

         我們做了一個(gè)對(duì)比, 一臺(tái)2XZ24型泵, 由于高、低真空級(jí)之間通道的流導(dǎo)不足,2Pa時(shí)抽速只有1.3L/s, 抽氣效率只有30%。適當(dāng)增加它的通道截面積, 就提高到2L/s, 再增加通道截面積, 就達(dá)到2.56L/s, 抽氣效率提高到59%, 這就充分說(shuō)明, 增加高、低真空級(jí)之間通道的流導(dǎo)對(duì)于提高泵(實(shí)際是高真空級(jí)) 的抽速是極其重要的。

3、泵溫對(duì)真空度的影響

        在盛夏季節(jié), 尤其是在通風(fēng)條件不良的工作場(chǎng)所, 對(duì)4～8L/s 這樣的直聯(lián)泵, 泵溫都比較高, 這將導(dǎo)致泵油的熱分解加速, 產(chǎn)生的輕餾份增加,油蒸汽增加⋯⋯, 這些都對(duì)泵的真空度有較大影響, 為了降低泵溫可以設(shè)計(jì)一風(fēng)扇, 安裝在聯(lián)軸器上, 這風(fēng)扇看起來(lái)不大, 但作用卻不小, 可以使泵溫下降5～7℃,它的作用在于風(fēng)扇吹破了泵周?chē)�的熱空氣屏障包圍�? 使熱交換能順利進(jìn)行。

4、高真空級(jí)排出口應(yīng)高于低真空級(jí)的吸入口

        使高真空級(jí)排出的油能順利流入低真空級(jí)。否則在二級(jí)之間的通道內(nèi)有可能產(chǎn)生油堵, 從而影響泵的極限壓力和抽速。

5、降低排氣速度, 有利于泵抽速的提高

       我們檢測(cè)了許多直聯(lián)泵, 發(fā)現(xiàn)普遍存在1.5 ×10³Pa 時(shí)抽速小于6.7 ×10²Pa (甚至3.3 ×10²Pa ) 時(shí)抽速, 這主要是由于排氣阻力過(guò)大所造成, 適當(dāng)降低排氣速度, 這種現(xiàn)象就消失了。