渦旋型干式真空泵以其轉(zhuǎn)動(dòng)方式不同,分為兩種型式:一種是一個(gè)渦旋固定不動(dòng)(稱為靜渦旋),另一個(gè)渦旋圍繞著它公轉(zhuǎn)平動(dòng)而不能自轉(zhuǎn)(稱為動(dòng)渦旋)的公轉(zhuǎn)型(Orbiting type);另一種是兩個(gè)渦旋同步同方向各自繞自身軸轉(zhuǎn)動(dòng)的回轉(zhuǎn)型(Rotat ingtype)它的兩個(gè)渦旋都是動(dòng)渦旋。

        目前公轉(zhuǎn)型多為雙腔臥式泵,而回轉(zhuǎn)型多為單腔立式泵。其工作原理如圖8所示,氣體從周邊吸入向中心壓縮由中間排氣,實(shí)現(xiàn)連續(xù)吸氣,壓縮和排氣的整個(gè)抽氣過程。這種泵壓縮平穩(wěn)、驅(qū)動(dòng)力矩變化小,故振動(dòng)小、噪音低(60dB(A)),相鄰的二個(gè)月牙腔容積的壓差小,故間隙泄漏也小,而且端面有密封,可得到較高的壓縮比,這種泵從大氣壓抽到極限壓力1～1021Pa,泵的抽速為20～50m³/h,它是一種節(jié)能型產(chǎn)品,市場(chǎng)已有出售。

(a) 公轉(zhuǎn)型

(b) 回轉(zhuǎn)型

圖8　渦旋型真空泵的抽氣原理圖