某型磁懸浮渦輪分子泵的設(shè)計與分析

李兵 鄒蒙 李奇志

北京中科科儀股份有限公司研發(fā)中心 北京 100190

　　摘 要:渦輪分子泵是一種低振動的高速旋轉(zhuǎn)機械，其渦輪等關(guān)鍵件設(shè)計的準確性直接關(guān)系到產(chǎn)品的性能和可靠性。

　　本文以某型磁懸浮渦輪分子泵部分設(shè)計的實例，分析了渦輪的主要載荷和振動特性、渦輪分子泵在應(yīng)用上的傳熱問題，同時針對試驗過程中出現(xiàn)的問題,給出了相應(yīng)的解決措施和思路，為渦輪分子泵的設(shè)計提供了參考。

　　關(guān)鍵詞：磁懸浮分子泵 渦輪 有限元分析