常見的幾種中真空抽氣機(jī)組型式

2009-02-04 張以忱東北大學(xué)

中真空機(jī)組的工作壓力范圍約在100～0.1Pa之間,其常用的主泵有油增壓泵、機(jī)械增壓泵(羅茨泵)等,機(jī)組適用于需要大抽速和獲得低、高真空的各種真空系統(tǒng)中�？蓮V泛用于鍍膜機(jī)、真空冶煉、真空熱處理、化工、醫(yī)藥、電工、焊接等行業(yè)。

羅茨泵—油封機(jī)械泵機(jī)組

圖6 是以羅茨泵為主泵,油封機(jī)械泵為前級(jí)泵的中真空獲得設(shè)備,整套機(jī)組可安置在一個(gè)機(jī)架上,結(jié)構(gòu)緊湊,使用方便。

可選擇ZJ型普通羅茨真空泵作為機(jī)組的主泵,也可選用帶旁通壓差閥的羅茨泵,前者須在系統(tǒng)被前級(jí)泵抽到羅茨泵允許的起動(dòng)壓力時(shí)才能起動(dòng)主泵工作。后者由于羅茨泵帶旁通壓差閥,所以羅茨泵可在較高的入口壓力時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)而不發(fā)生過載和過熱現(xiàn)象因此主泵可以在前級(jí)泵工作后,根據(jù)系統(tǒng)的實(shí)際情況來決定它的起動(dòng)壓力。對(duì)于小型機(jī)組,還可以兩泵同時(shí)起動(dòng),以加大抽速和縮短抽氣時(shí)間。

a)通過羅茨泵腔預(yù)抽的機(jī)組(b)帶旁通預(yù)抽管路的機(jī)組

圖6羅茨泵加油封機(jī)械泵機(jī)組

羅茨泵—水環(huán)泵機(jī)組

圖7 為ZJ型羅茨泵加上水環(huán)泵機(jī)組,它適合抽除含有大量水蒸氣的氣體,如真空濃縮、真空干燥,特別適宜于弱酸氣體及含有少量細(xì)微粉塵氣體的抽除。

(a)通過羅茨泵腔預(yù)抽的機(jī)組(b)帶旁通預(yù)抽管路的機(jī)組

圖7 羅茨泵加水環(huán)泵機(jī)組

雙羅茨泵為主泵的中真空機(jī)組

為了提高真空機(jī)組的抽氣性能,達(dá)到較低的極限壓力和改善在低入口壓力時(shí)的抽速特性及對(duì)大型真空機(jī)組配用較小規(guī)格的前級(jí)泵,可以組成由二個(gè)ZJ型羅茨泵串聯(lián)作為主泵的三級(jí)抽氣機(jī)組,如圖8、圖9 所示。

圖8 兩級(jí)羅茨泵加油封機(jī)械泵機(jī)組

圖9 雙級(jí)羅茨泵加水環(huán)泵機(jī)組

圖10為兩級(jí)ZJ型羅茨泵和一級(jí)水環(huán)泵(極限壓力P0=6700Pa)及氣鎮(zhèn)式油封機(jī)械泵聯(lián)合組成的真空機(jī)組,其極限壓力可達(dá)10-2Pa。當(dāng)需要大量抽除水蒸汽時(shí),關(guān)閉閥門8,用水環(huán)泵做粗抽泵和前級(jí)泵,當(dāng)水蒸汽分壓達(dá)到300~1300 Pa后,關(guān)閉閥5,打開閥8,用氣鎮(zhèn)式機(jī)械泵做前級(jí)泵。