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集成電路制造中低溫泵的應(yīng)用及產(chǎn)品發(fā)展現(xiàn)狀

本文介紹了國(guó)內(nèi)集成電路制造中進(jìn)口低溫泵產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀，并對(duì)比了不同產(chǎn)品的技術(shù)特點(diǎn)。闡述了國(guó)產(chǎn)低溫泵進(jìn)軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。

低溫冷凝泵的抽氣特性

本文介紹了低溫冷凝泵的理論抽速、低溫冷凝泵的實(shí)際抽速、低溫冷凝泵的極限壓強(qiáng)、低溫泵的降溫時(shí)間、低溫泵的工作壽命等關(guān)于低溫泵的抽氣特性計(jì)算公式。

低溫泵的抽氣原理與分類(lèi)與結(jié)構(gòu)

利用低溫表面上的吸附劑和打在其上的氣體分子發(fā)生吸附而達(dá)到抽氣作用的泵叫低溫吸附泵。根據(jù)所用吸附劑不同，又可分為三種類(lèi)型： 非金屬吸附劑泵、金屬吸附劑泵、氣體霜。

低溫泵的原理與結(jié)構(gòu)

低溫泵的抽氣原理主要是利用低溫表面抽除真空容器中的氣體來(lái)獲得和保持真空。本文圖文詳解低溫泵的原理與結(jié)構(gòu)。

低溫泵測(cè)試系統(tǒng)的搭建

低溫泵的測(cè)試系統(tǒng)原理圖如圖所示：系統(tǒng)包括低溫泵、干泵、測(cè)試容器、真空規(guī)、氣體流量計(jì)和閥門(mén)等。

低溫泵在超高真空爐中的應(yīng)用實(shí)例

本文以實(shí)例介紹了低溫泵在超高真空爐中的應(yīng)用； 重點(diǎn)介紹了低溫泵真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)思路，真空系統(tǒng)的主要配置和注意事項(xiàng)，低溫泵的選型計(jì)算，并用圖示方法詳細(xì)介紹了低溫泵系統(tǒng)的安裝、使用和維護(hù)等環(huán)節(jié)。

HL-2M內(nèi)置式低溫泵基于DSMC方法的抽速計(jì)算

HL-2M內(nèi)置式低溫真空泵的復(fù)雜性和重要性要求在設(shè)計(jì)階段就的對(duì)低溫真空泵的抽氣性能進(jìn)行評(píng)估，甚至是定量的計(jì)算。作為一個(gè)復(fù)雜的系統(tǒng)，HL-2M內(nèi)部空間留給大型低溫泵的空間是極其有限的；并且從制造和加工的成本考慮，

低溫泵的常見(jiàn)幾種分類(lèi)

本文根據(jù)低溫泵的介質(zhì)的供應(yīng)方式將低溫泵進(jìn)行了分類(lèi)，并簡(jiǎn)單的描述了其工作原理和工作方式。

大口徑低溫泵之制冷機(jī)R65的研制

介紹了用于大口徑低溫泵的R65制冷機(jī)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，回?zé)崞鞯脑O(shè)計(jì)及材料的選擇，以及制冷功率及可靠性測(cè)試的試驗(yàn)結(jié)果。

大口徑低溫泵抽速性能研究

本文在總結(jié)給出低溫泵抽速的理論計(jì)算公式基礎(chǔ)上，介紹了實(shí)際真空系統(tǒng)的構(gòu)成及低溫泵在實(shí)際真空系統(tǒng)中抽速的測(cè)量方法。

低溫泵的工作原理及構(gòu)造示意圖

低溫泵的工作原理是利用氣體在超低溫表面發(fā)生物理吸附而達(dá)到排氣的效果。本文講述了低溫泵的工作原理及構(gòu)造示意圖。

活性炭的預(yù)處理對(duì)低溫泵工作性能的影響

本文將對(duì)比研究不同方法處理的活性炭對(duì)低溫泵工作性能的影響，為高性能的低溫泵的研制與生產(chǎn)提供了改進(jìn)方向。

低溫泵的常見(jiàn)的三種類(lèi)型

按照低溫介質(zhì)的供給方式，低溫泵分為流程低溫泵、貯槽式低溫泵、小型制冷機(jī)低溫泵。

低溫泵快速再生系統(tǒng)研究

本文對(duì)一種低溫泵的吸附陣結(jié)構(gòu)分析并設(shè)計(jì)了一種結(jié)合自動(dòng)控制功能的快速再生加熱系統(tǒng)，該系統(tǒng)由單片機(jī)編程控制，自動(dòng)化程度高，再生時(shí)間短，使用方便，為國(guó)內(nèi)低溫泵快速再生環(huán)節(jié)的發(fā)展提供借鑒。

乙烯裝置低溫泵的選型與操作問(wèn)題探討

文章介紹了乙烯裝置中的低溫泵選型和操作方面應(yīng)注意的問(wèn)題，為相關(guān)工程人員提供一定的參考。

基于流場(chǎng)數(shù)值模擬的磁力驅(qū)動(dòng)冷凝泵入口流動(dòng)分析

為了提高磁力驅(qū)動(dòng)冷凝泵的抗汽蝕性能，在泵葉輪入口處配置了變螺距誘導(dǎo)輪，并建立了吸入口配置變螺距誘導(dǎo)輪和未配置變螺距誘導(dǎo)輪的兩種模型。

基于DCS的EAST內(nèi)置低溫泵監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計(jì)

本文主要講述在EAST 低溫控制系統(tǒng)基礎(chǔ)上，基于DCS結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)內(nèi)置低溫泵的監(jiān)控系統(tǒng)，從而實(shí)現(xiàn)低溫泵閥箱冷卻、運(yùn)行、回溫整個(gè)過(guò)程的自動(dòng)監(jiān)控。

低溫吸附泵用椰殼活性炭的性能測(cè)試

低溫泵液壓驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的應(yīng)用

闡述了低溫泵液壓驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)原理，分析了低溫泵液壓驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)，為低溫泵液壓驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的推廣應(yīng)用提供技術(shù)基礎(chǔ)。

300LDTN-200型立式多級(jí)筒袋式冷凝泵的研制

通過(guò)新設(shè)計(jì)高汽蝕性能、高效率的首級(jí)葉輪和誘導(dǎo)輪的水力模型，創(chuàng)新結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)了300LDTN-200型立式多級(jí)筒袋冷凝泵的吸入裝置、軸向力平衡裝置和軸封裝置的結(jié)構(gòu)。