擋油帽的作用與主要參數(shù)計算
擴散泵在工作過程中，泵液會向被抽容器中返流。返流的油蒸氣會對被抽容器及被處理工件造成污染。返流油蒸氣從凝結(jié)于擴散泵頂噴咀表面上的油膜的再蒸發(fā)為主要來源。在噴咀內(nèi)表面上的泵油能浸潤外表面達數(shù)毫米，因此這部分油膜會大量蒸發(fā)，返流向高真空側(cè)。通常在泵芯的一級噴咀上面設(shè)置擋油帽，這樣可以大大降低油蒸氣的返流。擋油帽一般用水冷卻，比較好的水冷擋油帽可把擴散泵的返油率降低到0.1％～1％。因此擋油帽是現(xiàn)代擴散泵所必備的部件。
擴散泵加擋油帽后，降低了返油率，但同時也降低了泵的抽速。通常認為加擋油帽后，泵的抽速降低小于20％為宜。
擋油帽的設(shè)計方法如圖31所示：先劃出導(dǎo)流管和噴咀外沿的連結(jié)線AB，再在距B為1cm左右處引垂線CD，延長AB與CD交于E點，此即擋油帽的外緣。這樣確定擋油帽外緣的位置則不會擋住工作液蒸氣射流。
圖31：擋油帽的設(shè)計方法
擋油帽伸出長度H(見圖32)可由下式計算：
H=(d2-d1-2δ)/2 tga mm (10)
式中d1為泵的噴咀直徑，mm；d2為擋油帽帽緣外徑，mm；δ為擋油帽帽緣厚度，mm；a為泵的噴咀角度。
圖32：擋油帽伸出長度H
圖33是擋油帽的一種經(jīng)驗設(shè)計，實踐表明，這種擋油帽的擋油效果較好，且對泵的抽速沒有太大的影響。
圖34：各種擋油帽的擋油效果圖
各種型式擋油帽的擋油效果如圖34所示，圖中(n)是不加擋油帽，設(shè)此時返油量為1；(6)、(c)、(d)、(e)等表示加擋油帽及水冷套等措施后的返油量，數(shù)值愈小，擋油效果愈好。
