蒙特卡洛法計(jì)算鈦升華泵抽氣速率的結(jié)果與討論
本文用蒙特卡洛法計(jì)算HIRFL-CSR 鈦升華泵對(duì)于不同氣體吸附系數(shù)在分子流條件下的吸附概率,并分析了擋板的形狀、位置設(shè)置對(duì)于吸附概率的影響。通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)試,發(fā)現(xiàn)HIRFL-CSR 鈦升華泵對(duì)H2的抽速與計(jì)算值接近,證明用蒙特卡洛法模擬計(jì)算、設(shè)計(jì)鈦升華泵是可行的。
圖2 是HIRFL-CSR鈦升華泵的平面擋板直徑為<120 mm、擋板位置在HIRFL-CSR鈦升華泵的泵口上方145mm 條件下吸附系數(shù)與吸附概率的關(guān)系曲線。吸附系數(shù)減小時(shí),氣體分子在泵內(nèi)反射次數(shù)增多,因而反射出泵口的概率增大。對(duì)H2 ,吸附系數(shù)為0.07 ,吸附概率為0.385。根據(jù)泵口短管(<200mm ×90mm)對(duì)H2的流導(dǎo)可求得該鈦升華泵對(duì)H2的抽速為5300L/s。
圖3 是HIRFL-CSR鈦升華泵的平面擋板直徑為<120mm、擋板位置距泵口的距離變化與吸附概率的關(guān)系曲線�？紤]到該鈦升華泵主要是抽除H2 ,故吸附系數(shù)取為0.07。擋板距泵口距離變化的同時(shí),鈦膜的面積也隨之變化。離泵口遠(yuǎn)時(shí),泵體圓筒壁處于擋板的陰影部分增大,因而減小了鈦膜的面積。這樣,分子在泵體內(nèi)反射的次數(shù)增多,飛出泵口的概率也增大,所以吸附概率減小了。
圖4 所示曲線是把擋板分成2 部分,中間部分為一直徑<80 mm 的圓盤a ,另一部分為外徑<120 mm、內(nèi)徑<80 mm 的圓環(huán)b。將圓環(huán)b 距泵口的距離固定為145 mm ,改變圓盤a 距泵口的距離,計(jì)算H2吸附概率的變化。從圖4 的計(jì)算結(jié)果表明,圓盤a 位置的變化對(duì)于H2吸附概率的影響僅為5 %左右,因此擋板也可以做成環(huán)形。
圖5 所示曲線是把擋板分成3 個(gè)圓環(huán),圓環(huán)與平面的夾角為θ,計(jì)算θ從0～45°變化時(shí)對(duì)H2吸附概率的影響。從圖5 所示的結(jié)果可見,圓環(huán)角度的變化對(duì)抽速的影響也很小�？紤]到實(shí)際應(yīng)用時(shí)加工、安裝方便,沉積在擋板上的鈦膜易于清洗等因素,故選用了平面擋板(θ為0°) 。
鈦升華泵在超高真空條件下,當(dāng)給定溫度時(shí),對(duì)一定氣體的抽速與壓力無(wú)關(guān)。實(shí)驗(yàn)也證明,在很大壓力范圍內(nèi)(10 - 4～10 - 9Pa) 對(duì)H2抽速幾乎沒有變化 。因此,只需測(cè)量某個(gè)壓力下的H2抽速即可。單獨(dú)測(cè)量鈦升華泵抽速比較困難,作者采用了圖6 所示的鈦升華泵抽速測(cè)試系統(tǒng)。
圖6 鈦升華泵抽速測(cè)試系統(tǒng)示意圖
1. 鈦升華泵; 2. 濺射離子泵(330 L/s) ; 3. 真空盒;4. 真空規(guī)管(IE514) ; 5. 抽速測(cè)試罩; 6. 小孔(<15) ; 7. 微調(diào)送氣閥; 8. 隔斷閥; 9. 渦輪分子泵(550 L/s) ; 10. 前級(jí)干泵(4 L/s) 。
鈦升華泵和濺射離子泵分別接在矩形盒下部,矩形盒上部接ISO 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試罩。實(shí)測(cè)時(shí)先測(cè)量濺射離子泵的抽速,再測(cè)出濺射離子泵與鈦升華泵同時(shí)工作時(shí)的抽速,將兩者之差作為鈦升華泵的抽速。用此方法測(cè)出在10-9Pa 時(shí)對(duì)H2抽速為5200L/s ,與計(jì)算結(jié)果5300L/s 相差約2%。使用這種簡(jiǎn)易的測(cè)量方法時(shí)引進(jìn)了幾項(xiàng)不穩(wěn)定因素,其中主要是: (1)濺射離子泵抽速的變化; (2)殘余氣體成分的變化; (3) 矩形盒流導(dǎo)的影響,但是相對(duì)于鈦升華泵的抽速以及導(dǎo)入氣量而言,影響是很小的。
計(jì)算了HIRFL-CSR 鈦升華泵對(duì)于不同氣體吸附系數(shù)在分子流條件下的吸附概率,分析了擋板的形狀和設(shè)置位置對(duì)吸附概率的影響,并得到了對(duì)H2抽速的計(jì)算與實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)相接近的結(jié)果,證明用蒙特卡洛法在計(jì)算機(jī)上模擬計(jì)算、設(shè)計(jì)鈦升華泵有關(guān)參數(shù)的可行性。
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