微型離子泵抽速測試結(jié)果及誤差分析
2009-03-28 梅國強(qiáng) 清華大學(xué)電子工程系
微型離子泵抽速測試結(jié)果
按照上文所述方法,用A1型磁鋼,并用配套電源進(jìn)行測試。用高純氮?dú)鉃槌樗贉y試氣體。每個(gè)數(shù)量級測量三個(gè)穩(wěn)定點(diǎn)。
圖3 微型濺射離子泵抽速曲線
圖3是微型濺射離子泵測試結(jié)果:離子泵對N2抽速≥013L/s。根據(jù)二極型濺射離子泵對不同氣體抽速的經(jīng)驗(yàn)比值可知,濺射離子泵對N2抽速為對干燥空氣抽速的85%。
圖4 是美國Varian公司提供的微型濺射離子泵重量與抽速的關(guān)系曲線,可以看出:Varian公司生產(chǎn)的重量為300g的濺射離子泵抽速是0135L/s。
圖4 Varian 公司微型濺射離子泵抽速與重量的關(guān)系
作者研制的新型微型濺射離子泵重量≤150g,實(shí)際測試抽速≥013L/s。
兩種不同磁場下的抽速性能比較
為了提高微型濺射離子泵的性能,設(shè)計(jì)了多種磁場源。圖5是其中兩種磁場源磁場強(qiáng)度的空間分布;圖6 是小離子泵分別工作在兩種磁場源下的抽速曲線圖。
圖5 兩種磁場源磁場強(qiáng)度分布圖
圖6 兩種磁場源離子泵抽速曲線
