低溫泵故障分析及解決措施探討

可靠性與環(huán)境工程技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所 許忠旭 劉志強(qiáng)

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　　摘要：制冷機(jī)低溫泵是目前環(huán)模設(shè)備使用最多的真空獲得設(shè)備，也幾乎是大型環(huán)模設(shè)備獲得清潔高真空環(huán)境的唯一選擇。低溫泵使用方便，可靠性高，故障率低。

　　筆者在單位工作過程中先后使用過美國(guó)CTI、CVI、奧斯汀、德國(guó)萊寶等多個(gè)廠家的低溫泵，對(duì)于低溫泵使用過程中發(fā)生的故障在判斷、定位、解決方法等方面積累了一定的經(jīng)驗(yàn)。

　　本文將重點(diǎn)對(duì)低溫泵的典型故障進(jìn)行分析，并提出部分解決方法。

　　關(guān)鍵詞：低溫泵 環(huán)模設(shè)備 故障 解決方法