近年來，隨著世界各國航天技術發(fā)展和其它高新技術領域的應用需求，需要精確測量10^-12 Pa·m³/s及以下量級的極小氣體流量。

　　國防科技工業(yè)真空一級計量站經(jīng)過多年技術攻關，突破了小孔流導的精確測量、基于非蒸散型吸氣劑的選擇性抽氣、固定流導法流量計的測量下限延伸等多項關鍵技術。在國際上首次提出基于非蒸散型吸氣劑的固定流導法測量氣體微流量的新方法，將氣體微流量的測量下限延伸到10^-12 Pa·m³/s的極小氣體流量范圍。提出基于靜態(tài)膨脹法真空標準的極小氣體流量測量方法，流量計的充氣壓力通過靜態(tài)膨脹法真空標準直接產生，再次將氣體微流量的測量下限延伸到10^-16 Pa·m³/s的極小氣體流量范圍。相關技術已在超靈敏檢漏、真空漏孔校準等領域得到廣泛應用。

　　“一種測量極小氣體流量的方法”2013年獲中國專利優(yōu)秀獎，相關成果分別于2010年、2011年獲甘肅省科技進步一等獎和國防技術發(fā)明二等獎。

極小氣體流量測量裝置實物照片

一種測量極小氣體流量的方法-中國專利優(yōu)秀獎證書