EDWARDS 公司IPUP2 真空泵創(chuàng)立加載互鎖和輸送腔體應(yīng)用新標準

　　第二代泵的先進設(shè)計取得初步成功

　　英國西薩克斯郡克勞雷 (2013年7月16日)- 精密真空產(chǎn)品和尾氣處理系統(tǒng)領(lǐng)先制造商和相關(guān)增值服務(wù)領(lǐng)先供應(yīng)商Edwards集團有限公司(納斯達克代碼：EVAC)已經(jīng)推出了針對應(yīng)用材料公司制造平臺的加載互鎖和輸送腔體應(yīng)用的全新集成式真空泵IPUP2。該第二代泵在加載互鎖抽真空時間、能耗和維護要求方面具有明顯優(yōu)勢，這些先進性能結(jié)合起來為其帶來同類最佳的性能和擁有成本。該泵已經(jīng)獲得初步成功，在應(yīng)用材料公司的多類新設(shè)備平臺上取得了使用認證，并且已經(jīng)向主要半導(dǎo)體制造商提供超過180套系統(tǒng)。

　　Edwards公司銷售總經(jīng)理馬克•格林(Mark Greene)評論說：“我們非常努力地工作，達到并超越應(yīng)用材料公司對新一代泵的要求。IPUP2先進的設(shè)計減少抽真空時間50%左右，能耗節(jié)約70%，在大修間隔期免維護。很多半導(dǎo)體制造廠商，甚至那些與我們競爭對手長期合作的制造廠商， 很快通過這些訂單認識到了IPUP2的抽氣能力和擁有成本優(yōu)勢。”

　　IPUP2是為滿足應(yīng)用材料公司的加載互鎖和輸送腔體抽真空規(guī)格而設(shè)計。IPUP2的抽氣速率和功率曲線得到了優(yōu)化，以增加機臺產(chǎn)出能力，最大抽速可達180 m³/h，與第一代相比快89%，抽真空時間縮短54%，同時能耗節(jié)約70% (使用“綠色模式”還可進一步節(jié)能)。該泵中采用的精密軸承確保運行平穩(wěn)、低震動，機油潤滑的軸承和定時齒輪使得大修之間無需常規(guī)維護。IPUP2包括水平和垂直進氣口，其尺寸和配置能夠與前一代泵直接互換。在測試中該泵的得分很高，平均故障間隔(Semi E10標準的MTBF)為5年，可實現(xiàn)超過300萬次加載互鎖工作循環(huán)。

　　現(xiàn)在IPUP2可見于應(yīng)用材料公司的機臺或直接由Edwards獲取。更多資訊，請與當?shù)氐匿N售代表聯(lián)絡(luò)。

關(guān)于Edwards

　　Edwards公司是全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體、平板顯示器、LED和太陽能電池制造領(lǐng)域高精真空設(shè)備和尾氣處理系統(tǒng)制造商及相應(yīng)增值服務(wù)供應(yīng)商，是工業(yè)、鍍膜、鋼鐵、冶金、制藥、化工、科學儀器行業(yè)以及廣泛的研發(fā)應(yīng)用領(lǐng)域的真空技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者。

　　Edwards在全球擁有3,200多名全職員工和500多名臨時員工，他們在世界各地約30個國家和地區(qū)從事高科技真空和尾氣處理設(shè)備的設(shè)計、制造和支持工作。

　　Edwards公司的美國存托股票(American Depositary Shares)在納斯達克全球精選市場(NASDAQ Global Select Market)上交易，交易代號為EVAC。要了解有關(guān)Edwards的更多信息，請訪問公司網(wǎng)站www.edwardsvacuum.com。